[发明专利]小型制造装置以及使用该小型制造装置的制造系统

权利要求书

1.一种小型制造装置，其特征在于，具备：

处理室，其对处理基板实施期望的处理；

前室，其使用设置于内部的搬送机构，与该处理室之间进行上述处理基板的搬入和搬出；

处理室用控制部，其设置于上述处理室以控制该处理室对上述处理基板的处理；以及

前室用控制部，其设置于上述前室以控制上述处理基板在上述处理室与该前室之间的搬入和搬出，

其中，当上述处理的准备结束时，上述处理室用控制部发送用于请求上述前室用控制部将该处理基板从上述前室搬入到上述处理室的搬入请求信号，当从上述前室用控制部接收到表示上述处理基板的上述搬入已结束的搬入通知信号时，上述处理室用控制部开始上述处理，当该处理结束时，上述处理室用控制部发送用于请求上述前室用控制部将上述处理基板从上述处理室搬出到上述前室的搬出请求信号，当从上述前室用控制部接收到表示上述处理基板的上述搬出已结束的搬出通知信号时，上述处理室用控制部开始上述处理的准备，

当从上述处理室用控制部接收到上述搬入请求信号时，上述前室用控制部开始上述处理基板的搬入动作，当上述处理基板的搬入动作结束时，上述前室用控制部将上述搬入通知信号发送到上述处理室用控制部，当从该处理室用控制部接收到上述搬出请求信号时，上述前室用控制部开始上述处理基板的搬出动作，当从上述处理室搬出了该处理基板时，上述前室用控制部将上述搬出通知信号发送到上述处理室用控制部。

2.根据权利要求1所述的小型制造装置，其特征在于，

上述前室还具备在向上述处理室搬入上述处理基板以及从上述处理室搬出上述处理基板时打开的装载端口，

当从上述处理室用控制部接收到上述搬入请求信号时，上述前室用控制部还进行打开上述装载端口的动作的控制，当从该处理室用控制部接收到上述搬出请求信号时，上述前室用控制部还进行关闭上述装载端口的动作的控制。

3.一种制造系统，其特征在于，具备多台根据权利要求1或2所述的小型制造装置，

多台上述小型制造装置中的至少一台小型制造装置的上述处理室的结构与其它小型制造装置的上述处理室的结构不同，并且，在全部的该小型制造装置中，上述前室的结构彼此相同。