[实用新型]基于wifi传输的网络化蓝宝石长晶炉

说明书

技术领域

本发明涉及蓝宝石晶体（氧化铝单晶）生长技术领域，尤其是基于wifi传输的网络化蓝宝石长晶炉。

背景技术

由于蓝宝石晶体的光学穿透带很宽，从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性，因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度激光镜片材料及掩模材料上。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓外延（GaN）的材料品质，而氮化镓外延品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石（单晶Al₂O₃）C面Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN 外延工艺中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。

目前最成熟的生长大尺寸低应力无缺陷蓝宝石晶体的技术仍然还是泡生法。但是泡生法生产蓝宝石还没有完全实现自动化，在引晶过程中还需要依靠经验丰富的引晶工程师进行操作。这种工作方式不利于进行大规模的工业生产。因此我们提出网络化的泡生法蓝宝石生产方式，这种理念设计出来的长晶设备可以远程观测晶体生长状况，分析长晶数据，甚至远程操作，减少现场的工作强度。

发明内容

（一）要解决的技术问题

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供基于wifi传输的网络化蓝宝石长晶炉，通过wifi网络将长晶数据传送给远程服务器，实现远程观测晶体生长状况，分析长晶数据，甚至远程操作，减少现场的工作强度。

（二）技术方案

为达到上述目的，本发明提供了基于wifi传输的网络化蓝宝石长晶炉，设置提供动力的电源系统，进行集中控制的控制器，可以驱动籽晶杆旋转的籽晶旋转系统，可以驱动所述的籽晶杆上下运动的籽晶提拉系统，用于测量晶体重量的称重系统，用于测量冷却水温度的测温系统，用于实现长晶的真空环境的真空系统，用于实现高温环境的加热系统，设置与远程服务器通讯连接的wifi通讯模块，所述的wifi通讯电路连接wifi网络，传送长晶数据数据。

所述的控制器设置为工控机，也可以设置为PLC控制器。

（三）有益效果

从上述技术方案可以看出，本发明具有以下有益效果：

1、本发明提供的基于wifi传输的网络化蓝宝石长晶炉，可实现远程观测晶体生长状况，分析长晶数据，甚至远程操作，减少现场的工作强度。

附图说明

图1是基于wifi传输的网络化蓝宝石长晶炉的控制框图；

图2是基于wifi传输的网络化蓝宝石长晶炉的系统框图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。

基于wifi传输的网络化蓝宝石长晶炉，设置提供动力的电源系统2，进行集中控制的控制器1。所述的电源系统2将输入的大功率交流电源转换成系统需要的电源电压，用于电器部分供电和制造高温环境。所述的控制器1设置为工控机，也可以设置为PLC控制器。

还包括可以驱动籽晶杆10旋转的籽晶旋转系统4，所述的籽晶旋转系统4带动所述的籽晶杆10旋转，以保证晶体生长的均匀性；可以驱动所述的籽晶杆10上下运动的籽晶提拉系统5，所述的籽晶提拉系统5根据晶体生长的阶段而向上提拉晶体，以满足生长的需要；用于测量晶体重量的称重系统6，所述的称重系统6可以测量所述的籽晶杆10末端的晶体重量，以判断晶体的生长阶段；用于测量冷却水温度的测温系统7，可以用于判断热场的温度情况；用于实现长晶的真空环境的真空系统8，真空环境可以保证晶体生长过程中不会有气体进入晶体材料中，防止产生气泡和杂质；用于实现高温环境的加热系统9，包括保温层、加热体和坩埚，实现2100℃的高温环境，将Al₂O₃的原料熔化，并维持在长晶所需要的高温环境。

设置与远程服务器通讯连接的wifi通讯模块3，所述的wifi通讯电路连接wifi网络，实时地将长晶的相关数据，传送给远程服务器，比如晶体重量，提拉高度，冷却水温度等，可实现远程观测晶体生长状况，分析长晶数据，甚至远程操作，减少现场的工作强度。