[实用新型]双极结型晶体管有效
| 申请号： | 201420234777.X | 申请日： | 2014-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN203812885U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 甘正浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/73 | 分类号： | H01L29/73;H01L29/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双极结型 晶体管 | ||
1.一种双极结型晶体管，其特征在于，包括：
衬底，所述衬底具有第一面以及与所述第一面相对的第二面；
发射极区，位于所述衬底中，所述发射极区面向所述第一面；
集电极区，位于所述衬底中，并至少围绕所述发射极区的相邻两面，所述集电极区面向所述第一面；以及
基极区，位于所述衬底中，并位于所述发射极区与集电极区之间，所述基极区面向所述第一面，所述基极区至少具有一导通所述发射极区与集电极区的基极区开口；
其中，所述衬底和基极区均为第一导电类型掺杂，所述发射极区和集电极区均为第二导电类型掺杂。
2.如权利要求1所述的双极结型晶体管，其特征在于，所述基极区开口位于所述基极区的一面，所述基极区的横截面为C形。
3.如权利要求2所述的双极结型晶体管，其特征在于，所述集电极区的横截面为环形，并完全包围所述发射极区和基极区。
4.如权利要求2所述的双极结型晶体管，其特征在于，所述集电极区具有一集电极区开口，所述集电极区的横截面为C形，所述集电极区开口的方向与所述基极区开口的方向相同。
5.如权利要求2所述的双极结型晶体管，其特征在于，所述集电极区具有一集电极区开口，所述集电极区的横截面为C形，所述集电极区开口的方向与所述基极区的方向相反。
6.如权利要求1所述的双极结型晶体管，其特征在于，所述基极区开口位于所述基极区相邻的两面，所述基极区的横截面为L形。
7.如权利要求2所述的双极结型晶体管，其特征在于，所述集电极区具有一集电极区开口，所述集电极区的横截面为L形，所述集电极区开口的方向与所述基极区开口的方向相同。
8.如权利要求2所述的双极结型晶体管，其特征在于，所述集电极区具有一集电极区开口，所述集电极区的横截面为L形，所述集电极区开口的方向与所述基极区的方向相反。
9.如权利要求1-8中任意一项所述的双极结型晶体管，其特征在于，所述双极结型晶体管还包括：
第一阱，位于所述衬底中，所述发射极区和基极区位于所述第一阱中；
第二阱，位于所述衬底中，所述集电极区位于所述第二阱中，所述第二阱围绕所述第一阱；
深阱，位于所述衬底中，所述深阱位于所述第一阱和第二阱面向所述第二面的一侧；
其中，所述第一阱为第一导电类型掺杂，所述第二阱和深阱均为第二导电类型掺杂。
10.如权利要求1所述的双极结型晶体管，其特征在于，所述基极区、发射极区、集电极区之间透过隔离区相互隔离。
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