[实用新型]一种蓝宝石单晶炉隔热屏有效
申请号: | 201420200469.5 | 申请日: | 2014-04-23 |
公开(公告)号: | CN203855683U | 公开(公告)日: | 2014-10-01 |
发明(设计)人: | 陈兴友;陈兴付;朱宇;赵九增;门宁峰;赵万方;王雪平;魏凯 | 申请(专利权)人: | 西安格美金属材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 隔热 | ||
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石单晶炉热场炉的加热保温结构,具体涉及一种蓝宝石单晶炉隔热屏。
背景技术
隔热屏是蓝宝石单晶炉重要的保温结构,其主要作用是保障炉膛热场的温度均匀性和提高热能利用率。隔热屏一般分为侧隔热屏和上下隔热屏。由于蓝宝石单晶体生长的热场温度超过2000℃,在这样的使用环境下,对隔热屏的耐热性能及强度具有较高的要求。
目前上下隔热屏其具有较高的耐热性能及热稳定性。但一般上下隔热屏都未经过任何防变形处理工艺,用于增加上下加隔热屏的高温使用强度,提高上下隔热屏的耐高温抗变形能力。上下隔热屏在超过2000℃的条件下使用,由于上下隔热屏自身热胀冷缩及内应力不均等条件,导致上下隔热屏发生变形,从而使温场不均匀,大大缩短了上下隔热屏的使用寿命。无形中提高了制作成本,同样也制约着我国蓝宝石单晶炉设备的发展和进步。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术中存在的隔热屏的变形问题,提供一种蓝宝石单晶炉隔热屏,以解决高温条件下使用时隔热屏变形等一系列问题的发生。
为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种蓝宝石单晶炉隔热屏,包括由不同直径的数个钼圆片构成的 上钼屏保温结构和下钼屏保温结构,其特征在于:所述钼圆片上设置有圆形筋条,所述圆形筋条由各单层钼圆片上下相邻叠加构成上、下钼屏保温结构上的板筋槽。
优选的,所述钼圆片厚度为0.5mm~2.0mm。
优选的,所述圆形筋条数根据钼圆片直径尺寸制做成1条或多条,同一钼圆片上的各圆形筋条的关系为直径不相同的同心圆。
优选的,所述上下钼屏保温结构经钼螺杆贯穿紧固和连接,钼螺杆上配有螺母,所述钼螺杆与上下钼屏保温结构之间设有支撑套以相互隔开上、下钼屏保温结构。
由于本实用上、下钼屏保温结构设有通过模具与机械压机的配合,通过发生塑性变形产生的筋条,大大的提高了钼片在高温使用下变形的过程中所需要的变形驱动力,阻碍了钼圆片的高温变形,从而极大的提高了上、下钼屏保温结构的抗变形能力,极大提高了隔热屏的高温强度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的俯视截面图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细说明。
如图1所示,一种蓝宝石单晶炉隔热屏,是由同心轴的上、下钼屏保温结构组成,所述上、下钼屏保温结构由不同直径的数个单层钼圆片1组成,所述单层钼圆片1通过模具与机械压机压制产生圆形筋条,所述圆形筋条由各单层钼圆片上下相邻叠加构成上、下钼屏保温 结构上的板筋槽。
具体实施时,组成上、下钼屏保温结构的为同轴钨、钼及其合金材质的钼圆片先通过模具与机械压机的配合产生圆形筋条,其中,圆形筋条的产生,大大提高钼圆片在高温使用下变形过程中所需要的变形驱动力,阻止了钼圆片的高温变形,然后由各单层钼圆片组成上下钼屏保温结构,上下钼屏保温结构通过钼螺杆2及钼螺母实现上下连接和紧固,且钼螺杆外于上下钼屏保温结构之间设有支撑套3;所述钼圆片1为同轴钼合金材质的同心圆,其中,钼圆片1厚度一般为0.5mm~2.0mm;圆形筋条数根据钼圆片直径尺寸一般为1条或多条,圆形筋条与圆形筋条的关系为同筋不同直径的同心圆。
以上实施例仅用以说明本实用的技术方案而非对其进行限制,尽管参照较佳实施例对本实用进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对本实用的技术方案进行修改或者等同替换,而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用技术方案的精神和范围。
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