[实用新型]新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统

说明书

技术领域

本实用新型属于硅微粉生产领域，尤其涉及一种新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统。

背景技术

石英具有优异的物理、化学特性，由于其原子结构长程无序，其三维结构交叉链接可使其具有耐高温性能强、热膨胀系数低、硬度较高、耐磨性能好、透光折射性能、压电性能优异、常温下不与各物质反应等优点。石英在炉内高温熔融后得到熔融石英块，熔融石英块可生产各种规格的熔融石英沙和熔融硅微粉，其中纳米级熔融硅微粉是熔融硅微粉系列中的高档产品，熔融石英硅微粉纯度高、热膨胀系数小、内应力低、高耐湿性、低放射性，主要使用于电子封装、电光源、半导体等行业纳米级熔融硅微粉的生产工艺包括天然石英的清洗、破碎、熔融、粉碎、磁选、研磨、分级后制得成品，本实用新型是生产纳米级熔融硅微粉整体工艺中的一部分，即研磨系统部分，该系统以搅拌球磨机为核心设备，因搅拌球磨机品种较多，本系统使用的是一种立式螺旋搅拌球磨机，该机主要用于处理细粒级矿物的研磨，其主要技术特点是对主轴叶片进行了耐磨处理，筒体内镶有耐磨衬板，具有良好的耐磨性，且运转平稳，工作可靠，其效率是滚筒球磨机的十倍以上，耗电量为滚筒球磨机的1/4,是气流磨的1/13，能把各种物料（莫氏硬度在2-10之间）均匀粉碎到纳米级。 

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统，为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统，包括：动力控制装置、动力装置、无级调速器、立式螺旋搅拌球磨机、收料器，其中动力控制装置和动力装置连接，动力装置和无级调速器连接；无级调速器和立式螺旋搅拌球磨机连接，立式螺旋搅拌球磨机和收料器连接，动力控制装置和动力装置间的连接装置为第一动力电路，动力装置和无级调速器间的连接装置为第一传动轴，无级调速器和立式螺旋搅拌球磨机间的连接装置为第二传动轴，立式螺旋搅拌球磨机上设有熔融石英沙进口，立式螺旋搅拌球磨机和收料器间的连接装置为引风机，收料器上设有纳米级熔融硅微粉出口。

本实用新型的进一步技术方案是：

所述的动力控制装置为50安培三相动力开关。

所述的动力装置为10千瓦三相异步电动机。

所述的立式螺旋搅拌球磨机为Φ900×1800型。

本实用新型的有益效果是：可以提高工作效率，降低生产成本，方便快速的将熔融石英沙研磨成纳米级熔融硅微粉，且所用设备少、工艺简单、无污染废弃物排放。

附图说明：

如图1为本实用新型的整体结构示意图。  

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明：

本实用新型是一种新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统，其工作原理是以直径为1毫米左右的熔融石英砂为原料，然后将其送入立式螺旋搅拌球磨机，通过不同的转速研磨后得到纳米级熔融硅微粉。

如图1所示，本实用新型包括动力控制装置1、动力装置2、无级调速器3、立式螺旋搅拌球磨机4、收料器5，其中动力控制装置1和动力装置2连接，动力装置2和无级调速器3连接；无级调速器3和立式螺旋搅拌球磨机4连接，立式螺旋搅拌球磨机4和收料器5连接，动力控制装置1和动力装置2间的连接装置为第一动力电路6，动力装置2和无级调速器3间的连接装置为第一传动轴7，无级调速器3和立式螺旋搅拌球磨机4间的连接装置为第二传动轴8，立式螺旋搅拌球磨机4上设有熔融石英沙进口9，立式螺旋搅拌球磨机4和收料器5间的连接装置为引风机10，收料器5上设有纳米级熔融硅微粉出口11。

在具体实施过程中，首先将直径小于1毫米的熔融石英沙通过设置于立式螺旋搅拌球磨机4上的熔融石英沙进口9送入立式螺旋搅拌球磨机4，此时接通动力控制装置1，将动力通过设置于动力控制装置1和动力装置2间的第一动力电路6送入动力装置2，动力装置2启动，将动力通过设置于动力装置2和无级调速器3间的第一传动轴7送入无级调速器3，调速后动力通过设置于无级调速器3和立式螺旋搅拌球磨机4间的第二传动轴8送入立式螺旋搅拌球磨机4，先用50转∕分的转速研磨1.5小时，再用20转∕分的转速研磨2.5小时后得到纳米级熔融硅微粉，得到的纳米级熔融硅微粉通过设置于立式螺旋搅拌球磨机4和收料器5间的的引风机10引入收料器5收集，然后通过设置于收料器5上的出口出料送入分级系统分级即可。

当然，本实用新型还有其它的实施方式，在不离开本实用新型的精神背景下所做的任何技术、原理和工艺的改进，均落在本实用新型的保护范围之内。