[发明专利]一种镀铋电镀液及铋薄膜的脉冲电镀方法

权利要求书

1.一种镀铋电镀液，其特征在于，包括如下浓度的组分：硫酸铋30～100g/L、 酒石酸钾钠60～200g/L、柠檬酸钾20～50g/L、酒石酸锑钾或乙二胺四乙酸二钠 0.10～0.25g/L、氯化钾30～60g/L、稳定剂2～8ml/L，其余为溶剂A，所述溶剂A 为水；

所述稳定剂包括聚乙二醇1.5～6g/L、维生素C1.0～5.0g/L、次亚磷酸钠 6～25g/L，其余为溶剂B，所述溶剂B为水。

2.根据权利要求1所述的镀铋电镀液，其特征在于：所述稳定剂通过如下 步骤制备而得，将次亚磷酸钠溶于水中，在搅拌下加入维生素C；将聚乙二醇 溶于热水中，然后冷却至室温；在搅拌下把聚乙二醇溶液加到次亚磷酸钠和维 生素C的混合溶液中，得到所述的稳定剂。

3.根据权利要求1所述的镀铋电镀液，其特征在于：所述镀铋电镀液还包 括表面活性剂0.005～0.015g/L，所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠。

4.一种使用权利要求1至3中任一项所述的镀铋电镀液的铋薄膜的脉冲电 镀方法，其特征在于，包括如下步骤：

a.按配比配制电镀液；

b.脉冲电镀，将电镀液注入电镀设备中，以铜片为阴极、纯金板为阳极， 进行电镀,沉积在阴极铜片表面的膜即制得的铋薄膜，电镀的工艺条件为，电流 密度为0.55～0.85A/dm²、频率为500～700Hz、占空比为1:7～1:11、电镀液温度 为25～50℃、pH值为7.5～11.5。

5.根据权利要求4所述的脉冲电镀方法，其特征在于：所述阴极与阳极之 间的间隔距离为5～8cm。

6.根据权利要求4所述的脉冲电镀方法，其特征在于：所述电镀用电源为 单脉冲电镀电源。

7.根据权利要求4所述的脉冲电镀方法，其特征在于：所述阳极中金的质 量百分含量≥99.99％。

8.根据权利要求4所述的脉冲电镀方法，其特征在于：步骤a中所述溶剂A 为蒸馏水或去离子水。