[发明专利]半导体装置、物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种半导体装置、物理量传感器、电子设备以及移动体，其通过使用通用性较高且扫描测试设计较为简单的方法，从而能够抑制电路规模增加且提高故障检测率。半导体装置（1）包括具有扫描测试模式的数字电路（2）。数字电路（2）具有：第一触发器（10、12、14、15或者18），其在扫描测试模式下构成扫描链的一部分；第一选择器（20、21、22、23或者24），其被设置于第一触发器的输入侧。第一选择器在非扫描测试模式下选择第一信号，而在扫描测试模式下选择与第一信号不同的第二信号。

技术领域

本发明涉及一种半导体装置、物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

现在，在各种各样的系统和电子设备中，广泛利用对加速度进行检测的加速度传感器或对角速度进行检测的陀螺传感器等能够对各种物理量进行检测的物理量传感器。近几年，各种物理量传感器被搭载于汽车上等，从而要求极高的可靠性。为了确保较高的可靠性，要求在检测工序中以接近100％的概率检测出对传感器元件的输出信号进行处理的半导体装置（IC）的故障（不合格）。作为高效地对在半导体装置（IC）中所包含的数字电路的布线故障（不合格）进行检测的方法，众所周知如下的扫描测试，即，对在数字电路中所包含的触发器进行扫描化，并在将使用ATPG（Auto Test Pattern Generation：自动测试图形生成）工具而生成的测试图形串行输入至被进行了扫描化的触发器（扫描链）之后，解除扫描链而使数字电路进行正常动作，然后再次构成扫描链并将在正常动作中被触发器所收取的信号向外部串行输出，并且通过与期待值进行比较从而判断有无故障。虽然在扫描测试中达到90％左右的故障检测率是较为容易的，但是使故障检测率更接近于100％则需要时间和劳动。例如，通过在尽管发生逻辑的变化但却无法检测出的所有节点中插入观测用的触发器，从而能够使故障检测率接近于100％。但是，在这种方法中，由于插入了大量的触发器，从而会导致电路规模的大幅增加。

相对于此，在专利文献1中，提出了如下的方法，即，在用于在作为测试对象的时序电路中构成移位寄存器的触发器中，在扫描测试时采用其他的组合电路中的逻辑状态。根据此方法，由于不增加新的触发器，而是使用用于构成移位寄存器的触发器，以作为扫描测试时的观测用的触发器，从而能够抑制电路规模的增大且提高故障检测率。

但是，专利文献1的方法中，作为观测用的触发器而使用的对象局限于构成移位寄存器的触发器，从而欠缺通用性。此外，在专利文献1的方法中，除了用于使触发器作为扫描电路移位寄存器而进行动作的扫描选择信号之外，还新设置用于取得在测试时想要观测的组合电路中的逻辑状态的、辅助观测动作的扫描模式信号，并且，需要在构成移位寄存器的触发器和除此以外的触发器之间，改变输入信号的选择逻辑和选择器的控制信号。因此，扫描测试设计变得复杂，从而成为诱发设计失误的原因。

专利文献1：日本特开平11－271401号公报

发明内容

本发明是鉴于以上的问题点而完成的，根据本发明的几个实施例，能够提供一种通过使用通用性较高且扫描测试设计较为容易的方法，从而可抑制电路规模的增加且提高故障检测率的半导体装置、物理量传感器、电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述课题中的至少一个部分而完成的，并能够作为以下的方式或实施例来实现。

应用例1

本应用例所涉及的半导体装置包括具有扫描测试模式的数字电路，所述数字电路具有：第一触发器，其在所述扫描测试模式下构成扫描链的一部分，第一选择器，其被设置于所述第一触发器的输入侧，并且能够在非所述扫描测试模式下选择第一信号，而在所述扫描测试模式下选择与所述第一信号不同的第二信号。

“扫描链”可以是从一个输入端子到一个输出端子的一个扫描链，也可以是分别从独立的输入端子到独立的输出端子的多个扫描链。