[发明专利]一种蓝宝石晶体生长热场结构有效
申请号: | 201410051174.0 | 申请日: | 2014-02-14 |
公开(公告)号: | CN103806102B | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 黄荣峰;李聪聪;黄雅莹 | 申请(专利权)人: | 闽能光电集团有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/34 |
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地址: | 361009 福建省漳*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体生长 结构 | ||
技术领域
本发明涉及一种蓝宝石晶体生长热场结构,按国际专利分类表(IPC)划分属于及宝石制造技术领域。
背景技术
导模法又称边缘限定一薄膜供料(Edge—Defined,Film—Fed Growth,简称EFG)法,主要用于生长特定形状的晶体,实际上它是提拉法的一种变形。 由于单晶硬度高,难于加工,为减少后续的加工,六十年代以后发展了异型晶体生长技术,其原理是将一个高熔点的惰性模具放入熔体中,模具下部带有细的管道,熔体由于毛细作用被吸引到模具的上表面,与籽晶接触后既可随着籽晶的提拉而不断凝固,通过模具的上边缘可以控制晶体的形状,因此被称为导模法,该工艺可用于各类异型蓝宝石晶体。
随着面板领域特别是手机面板领域应用的不断发展,蓝宝石材质面板在手机摄像头,手机按键、手机面板、智能手表等领域应用越来越广泛,然而传统导模法蓝宝石晶体生长单个周期产出(两片及以下)较低。为了增加单个周期产出,改进设备热场结构与单个周期产出有着直接关系。
由此,本发明人考虑对现有的蓝宝石晶体生长热场结构进行改进,本案由此产生。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种蓝宝石晶体生长热场结构。
为达到上述目的,本发明是通过以下技术方案实现的:
一种蓝宝石晶体生长热场结构,该热场结构包括位于同一中心线的支撑座、生长箱及密封盖,其中:
支撑座,其位于地面之上,并对所述生长箱形成支撑构架,该支撑座包括两块叠加设置的莫来石砖,其高度为200mm;
生长箱,其位于支撑座上端面且外侧套有感应线圈,该生长箱包括中部具有容置空间的箱体、坩埚及模具,所述箱体固定于支撑座上,所述坩埚下方具有两支撑环,该两支撑环在坩埚与箱底之间形成坩埚的支撑构架,所述模具放置于灌有氧化铝原料的坩埚内,而坩埚还具有与其匹配的坩埚盖,该坩埚盖设置有模具让位孔;
密封盖,其扣设于生长箱上,该密封盖中部设置有阶梯状通孔,而该通孔内设置有籽晶杆机构,所述籽晶杆机构一端伸至于模具上方,该籽晶杆机构另一端与陶瓷杆连接,该陶瓷杆伸出于密封盖外;
所述密封盖内设置有多个锥形通孔,该锥形通孔从密封盖底部对称延伸至密封盖外侧且内径逐渐减小。
进一步,所述箱体包括箱底及箱壁,所述箱壁扣设与箱底上,而箱底上设置有与该箱壁内径一直的两个氧化锆块,所述两个氧化锆块相互叠加放置,所述坩埚通过支撑环放置于两叠加设置的氧化锆块之上;所述箱壁内侧依次设置至有锆环及发热体,锆环及发热体均位于两个氧化锆块之上,所述发热体包括发热体盖,而所述籽晶杆机构一端穿过发热体盖的中孔伸至于模具上方。
进一步,所述坩埚下方的支撑环、发热体下方与氧化锆块的之间分别设置有小垫块。
进一步,所述发热体材质为钨或钼,通过线圈感应方式(电磁效应)使得发热体发热,该发热体的厚度为6+0.1mm。
进一步,所述锆环为多个环形锆块叠加放置形成,垒加高度140mm。
进一步,所述箱壁从外至内依次为石英桶及软炭毡体,所述软炭毡体为多层软炭毡叠加形成,而软炭毡层数无限制,将石英桶与锆砖中间间隙填满即可。
进一步,所述感应线圈为环形线圈,该感应线圈与生长箱之间具有200mm缝隙,该感应线圈两端弯折至感应线圈上方且呈平行排列;所述感应线圈外侧设置有四个定位杆及两个定位板;所述四个定位杆均匀通过螺栓固定且分布于感应线圈四周,每个定位杆上均直线排布有多个通孔;所述两个定位板对称分布于感应线圈外侧,每个定位板一端固定有弯折状连接片,而该弯折状连接片固定于感应线圈上。
进一步,所述模具为矩形模具。
进一步,所述密封盖包括保温罩及炭毡组,所述保温罩扣设于生长箱上端面上,而炭毡组贴敷于保温罩设置,所述炭毡组上端面设置有软炭毡盖。
进一步,所述炭毡组包括多个叠加中层炭毡及顶部炭毡层数累加之后高度(约500mm)到达预设所需层数即可,所述软炭毡盖、顶部炭毡及中层炭毡中央均设置有通孔且内径依次减小,进而形成阶梯状籽晶杆机构容置通道。
进一步,所述保温罩为多层碳毡,炭毡层数累加之后高度(约500mm)到达预设所需层数即可。
进一步,所述每个中层炭毡中央通孔为倒圆角的正方形且中层炭毡的厚度为40mm。
进一步,所述籽晶杆机构及陶瓷杆与生长箱位于同一中心线上,所述籽晶杆机构上端通过杆状连接扣与陶瓷杆连接。
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