[发明专利]固态成像设备及其制造方法

权利要求书

1.一种固态成像设备，所述固态成像设备在半导体基板的一个表面上具有多个光接收部，所述固态成像设备包括：

多个滤色器，该多个滤色器在半导体基板之上形成，并且与所述多个光接收部中的每一个对应地布置；以及

在所述多个滤色器中的每一个周围形成的中空部，其中

所述多个滤色器中的每一个具有与所述多个滤色器中的相邻的一个或更多个滤色器接触的一周边部分，并且具有在该中空部周围的其它周边部分。

2.根据权利要求1所述的固态成像设备，其中，所述中空部的宽度为0.1μm或更小。

3.根据权利要求1所述的固态成像设备，其中，所述多个滤色器中的相邻的滤色器之间的边界线等于或者长于所述中空部的宽度的1/2。

4.根据权利要求1所述的固态成像设备，进一步包括：

密封所述中空部的开口区域的密封层。

5.根据权利要求1所述的固态成像设备，其中，所述多个滤色器中的每一个具有与所述多个滤色器中的相邻的一个或多个滤色器接触的拐角区域。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的固态成像设备，进一步包括：

在所述多个滤色器中的每一个之上、与所述多个光接收部中的每一个对应地形成的微透镜。