[发明专利]感光树脂组合物及利用该组合物形成图案的方法

权利要求书

1.一种感光树脂组合物，包含有：

通过使不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或所述不饱和羧酸和所述不饱和羧酸酐的混合物，与烯烃类不饱和化合物或所述烯烃类不饱和化合物的混合物进行共聚，所形成的丙烯酸类共聚物；

由以下化学式6、7或8表示的光起始剂；

多官能丙烯酸酯低聚物；

具有乙烯性不饱和键的多官能性单体；

三聚氰胺交联剂；以及

硅烷偶联剂；

其中，使5重量份至40重量份的所述不饱和羧酸、所述不饱和羧酸酐、或所述不饱和羧酸和所述不饱和羧酸酐的混合物，与60重量份至95重量份的所述烯烃类不饱和化合物或所述烯烃类不饱和化合物的混合物进行共聚，并去除未反应单体后获得的所述丙烯酸类共聚物的含量为100重量份；

所述光起始剂的含量为0.1重量份至30重量份；

所述多官能丙烯酸酯低聚物的含量为1重量份至50重量份；

所述具有乙烯性不饱和键的多官能性单体的含量为1重量份至50重量份；

所述三聚氰胺交联剂的含量为0.1重量份至30重量份；以及

所述硅烷偶联剂的含量为0.1重量份至30重量份；

[化学式6]

[化学式7]

[化学式8]

2.如权利要求1所述的感光树脂组合物，其中，

所述三聚氰胺交联剂由以下化学式3表示；

[化学式3]

上述化学式3中，R1、R2、R3分别独立地为-CH₂O(CH₂)_nCH₃，其中n为0至3的整数；R4、R5、R6分别独立地或者同时为氢、-(CH₂)OH或-CH₂O(CH₂)_nCH₃，其中n为0至3的整数。

3.如权利要求1所述的感光树脂组合物，其中，

所述硅烷偶联剂为选自(3-缩水甘油氧基丙基)三甲氧基硅烷、(3-缩水甘油氧基丙基)三乙氧基硅烷、(3-缩水甘油氧基丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3-缩水甘油氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、(3-缩水甘油氧基丙基)二甲基乙氧基硅烷、3,4-环氧基丁基三甲氧基硅烷、3,4-环氧基丁基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三乙氧基硅烷、氨基丙基三甲氧基硅烷、氨基丙基三乙氧基硅烷、3-三乙氧基硅烷基-N-(1,3二甲基-亚丁基)丙基胺、N-2(氨基乙基)3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-2(氨基乙基)3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-2(氨基乙基)3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、以及(3-异氰酸酯丙基)三乙氧基硅烷中的至少一种化合物。

4.如权利要求1所述的感光树脂组合物，其中，

所述不饱和羧酸、所述不饱和羧酸酐、或所述不饱和羧酸和所述不饱和羧酸酐的混合物为选自丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、反丁烯二酸、甲顺丁烯二酸、甲基阿康酸、衣康酸、以及这些不饱和羧酸的酸酐中的至少一种化合物。