[发明专利]特别地用在掩膜对准器中的卡盘

权利要求书

1.一种用于将第一平面衬底(200)与第二平面衬底(300)平行排布的卡盘(100)，所述卡盘(100)包括：

(a)用于布置第一平面衬底、具有上表面(101')的顶板(101)；

(b)底板(102)；

(c)至少一个配置用于测量顶板(101)上表面(101’)与第二平面衬底(300)的表面(301)之间的距离的距离测量传感器(103)，其中至少一个传感器安装在所述卡盘上；以及

(d)至少三个与顶板(101)和底板(102)接触的线性致动器(104)。

2.根据权利要求1所述的卡盘(100)，其中所述第一平面衬底(200)为晶片和/或所述第二平面衬底(300)为掩膜。

3.根据权利要求1所述的卡盘(100)，其中至少三个线性致动器(104)设置在卡盘(100)的外周边缘区域。

4.根据权利要求1-3任一项所述的卡盘(100)，其中至少三个线性致动器(104)配置用于使顶板(101)沿垂直于卡盘(100)底板(102)的上表面的方向移动和或其中至少三个线性致动器(104)配置用于使顶板(101)相对于底板(102)倾斜。

5.根据权利要求1-3任一项所述的卡盘(100)，进一步包括连接至顶板(101)和底板(102)的至少三个弹簧轴承(105)。

6.根据权利要求5所述的卡盘(100)，其中所述至少三个弹簧轴承(105)配置用于预载所述至少三个线性致动器(104)。

7.根据权利要求5所述的卡盘(100)，其中所述至少三个弹簧轴承(105)位于与所述至少三个线性致动器(104)相邻的位置，并在在径向上向卡盘(100)的中心偏移或者径向向外偏移。

8.根据权利要求6所述的卡盘(100)，其中所述至少三个弹簧轴承(105)位于与所述至少三个线性致动器(104)相邻的位置，并在在径向上向卡盘(100)的中心偏移或者径向向外偏移。

9.根据权利要求1所述的卡盘(100)，其中至少一个距离测量传感器(103)选自电容传感器、光学传感器、超声传感器、磁导传感器或气动传感器的组成的组。

10.根据权利要求9所述的卡盘(100)，其中所述光学传感器为激光传感器或红外传感器。

11.根据权利要求1所述的卡盘(100)，其中所述至少三个线性致动器(104)是压电式线性致动器和/或滚珠螺杆和/或滚轮螺杆。

12.根据权利要求1所述的卡盘(100)，进一步包括位于卡盘(100)中央或紧挨卡盘(100)中央的至少一根荷载销(107)。

13.根据权利要求1所述的卡盘(100)，进一步包括配置用于测量如下参数的至少一个的厚度传感器：第一平面衬底(200)的厚度、第一平面衬底(200)的翘曲、第二平面衬底(300)的翘曲和/或顶板(101)的翘曲；其中至少一个传感器选自气动传感器、电容传感顺、光学传感器、超声传感器或磁导传感器的组成的组。

14.根据权利要求13所述的卡盘(100)，其中所述光学传感器为激光传感器或红外传感器。