[发明专利]包含表面活性剂和疏水化剂的组合物在处理线间距尺寸为50nm或更低的图案化材料时避免抗图案崩塌的用途

权利要求书

1.包含至少一种非离子表面活性剂A和至少一种疏水化剂B的含水组合物在处理包含线间距尺寸为50nm或更低的图案的基材中的用途，其中

(a)所述至少一种表面活性剂A具有10-35mN/m的平衡表面张力，这由所述至少一种表面活性剂A在水中的溶液在临界胶束浓度下测定，以及

(b)选择所述疏水化剂B以使得水与所述基材的接触角通过使所述基材与所述疏水化剂B在水中的溶液接触而与水与所述基材在所述接触之前的接触角相比增加5-95°。

2.根据权利要求1的用途，其中所述表面活性剂A对所述基材具有0-30°的平衡接触角。

3.根据权利要求2的用途，其中非离子表面活性剂A选自短支化全氟烷基表面活性剂(A1)、硅基表面活性剂(A2)、氧化乙烯和氧化丙烯的烷氧基封端共聚物表面活性剂(A3)、烷基多苷和山梨酸酯表面活性剂(A4)、烷基氧化胺表面活性剂(A5)和炔属二醇表面活性剂(A6)。

4.根据权利要求3的用途，其中所述短支化全氟烷基表面活性剂(A1)包含至少3个选自三氟甲基、五氟乙基、1-七氟丙基、2-七氟丙基和五氟硫基的短链全氟代基团R^f。

5.根据权利要求3的用途，其中所述硅基表面活性剂(A2)选自通式A-IIa和A-IIb的硅氧烷表面活性剂：

其中

u、v为独立地选自0-5的整数，

w为0-6的整数，

x为1-22的整数，

y为1-5的整数，

R¹⁰选自H或C₁-C₁₀烷基，以及

R¹¹选自H、甲基或乙基。

6.根据权利要求3的用途，其中所述氧化乙烯和氧化丙烯的烷氧基封端共聚物表面活性剂(A3)具有通式A-III：

(R¹²-O)_c-(EO)_a(PO)_bH(A-III)

其中

R¹²为选自可以任选被氟化或全氟化的C₄-C₃₀烷基的c价基团，

EO为氧亚乙基，

PO为氧亚丙基，

a为1-100的整数，

b为0-100的整数，以及

c为1-6的整数。

7.根据权利要求3的用途，其中所述烷基多苷表面活性剂(A4)具有通式A-IV：

R²¹O(C_nH_2nO)_j(Z)_k(A-IV)

其中

R²¹为选自烷基、烷基苯基、羟基烷基苯基的疏水基团，其中烷基含有约10-18个碳原子，

n优选为2或3，

j为0-10，

k为1-8，以及

Z选自己糖、葡萄糖、葡萄糖衍生物、蔗糖。

8.根据权利要求3的用途，其中所述烷基氧化胺表面活性剂(A5)具有通式A-V：

其中

R⁴¹为C₆-C₃₀疏水有机基团，

R⁴²、R⁴³独立地选自C₁-C₄烷基或C₁-C₄羟基烷基。

9.根据权利要求3的用途，其中所述炔属二醇表面活性剂(A6)具有通式A-VI：

其中

R⁵¹和R⁵⁴为线性或支化C₃-C₁₀烷基，

R⁵²和R⁵³选自H和线性或支化C₁-C₅烷基，以及

q、r、s和t为0-20的整数。