[发明专利]正型感光性树脂组合物、和图案形成方法有效
| 申请号： | 201380055257.0 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN104737074B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 野田国宏;千坂博树;盐田大 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 聚酰亚胺 图案 形成 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种正型感光性树脂组合物，其包含：
(A)聚酰亚胺树脂、和(B)通过光的作用生成咪唑化合物的化合物，
其中，(B)成分为下述式所示的化合物，
式(2)中，R1、R2和R3分别独立地表示氢原子或碳原子数1～12的烷基，R4和R5分别独立地表示氢原子或碳原子数1～10的烷基，R6和R7分别独立地表示氢原子、硝基或碳原子数1～10的烷基，R8、R9和R10分别独立地表示氢原子、硝基、碳原子数1～10的烷基或碳原子数1～10的烷氧基。
2.一种聚酰亚胺树脂图案的形成方法，其包括：
形成权利要求1所述的正型感光性树脂组合物的涂布膜的涂布膜形成工序，
将所述涂布膜曝光为规定图案的曝光工序，和
除去曝光后的所述涂布膜的曝光部而进行显影的显影工序。
3.一种图案化后的聚酰亚胺树脂膜，其由权利要求2所述的方法形成。
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