[发明专利]基板翻转装置以及基板处理装置

权利要求书

1.一种基板翻转装置，用于使基板翻转，其特征在于，

具有：

支撑机构，将多张基板支撑为呈水平姿势且在上下方向上隔开间隔地层叠的状态，

夹持翻转机构，对所述支撑机构所支撑的多张所述基板分别进行夹持，并且使多张所述基板一起翻转；

所述夹持翻转机构具有：

一对夹持构件，从多张所述基板的每一张基板的两端缘部夹持所述基板，

夹持构件驱动部，使一对所述夹持构件分别在接近位置与远离位置之间移动，所述接近位置指该夹持构件的一部分与基板的侧面接近或抵接的位置，所述远离位置指所述夹持构件与所述侧面相分离的位置，

弹性构件，朝向所述基板的侧面对配置在所述接近位置的所述夹持构件施加弹性力；

所述支撑机构具有：

多个支撑构件，分别从多张所述基板的每一张基板的下表面侧支撑所述基板，

支撑构件驱动部，使多个所述支撑构件分别在支撑位置与待避位置之间移动，所述支撑位置指该支撑构件的一部分与基板的下表面抵接的位置，所述待避位置指所述支撑构件与所述下表面相分离的位置；

所述支撑构件驱动部使多个所述支撑构件分别一边在上下方向上观察时远离所述基板的中心，一边向下方移动，来使该支撑构件从所述支撑位置移动至所述待避位置。

2.如权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，该基板翻转装置具有与被所述支撑机构支撑的多张所述基板分别相对应地设置的检测部，该检测部用于检测所对应的基板的异常。

3.如权利要求2所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述检测部具有第1投光部以及第1受光部，

从上下方向观察，所述第1投光部以及所述第1受光部隔着与该检测部建立对应的基板彼此相向配置，并且分开配置在所述基板的上方和下方。

4.如权利要求2所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述检测部具有第2投光部以及第2受光部，

从上下方向观察，所述第2投光部以及所述第2受光部隔着与该检测部建立对应的基板彼此相向配置，并且配置在与所述基板的主面相接近的同一水平面内。

5.如权利要求4所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述检测部具有第3投光部以及第3受光部，

从上下方向观察，所述第3投光部以及所述第3受光部隔着与该检测部建立对应的基板彼此相向配置，并且配置在与所述基板的主面接近的同一水平面内，

连接所述第2投光部和所述第2受光部的直线与连接所述第3投光部和所述第3受光部的直线不平行。

6.如权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，所述夹持翻转机构具有开闭检测部，该开闭检测部用于检测一对所述夹持构件分别位于所述远离位置和所述接近位置中的哪一位置。

7.一种基板处理装置，其特征在于，

具有：

基板翻转装置，用于使基板翻转，

表面清洗部，用于清洗基板的表面，

背面清洗部，用于清洗基板的背面，

第1搬运机械手，在所述表面清洗部、所述背面清洗部、所述基板翻转装置之间搬运基板；

所述基板翻转装置具有：

支撑机构，将多张基板支撑为呈水平姿势且在上下方向上隔开间隔地层叠的状态，

夹持翻转机构，对所述支撑机构所支撑的多张所述基板分别进行夹持，并且使多张所述基板一起翻转；

所述夹持翻转机构具有：

一对夹持构件，从多张所述基板的每一张基板的两端缘部夹持所述基板，

夹持构件驱动部，使一对所述夹持构件分别在接近位置与远离位置之间移动，所述接近位置指该夹持构件的一部分与基板的侧面接近或抵接的位置，所述远离位置指所述夹持构件与所述侧面相分离的位置，

弹性构件，朝向所述基板的侧面对配置在所述接近位置的所述夹持构件施加弹性力；

所述支撑机构具有：

多个支撑构件，分别从多张所述基板的每一张基板的下表面侧支撑所述基板，

支撑构件驱动部，使多个所述支撑构件分别在支撑位置与待避位置之间移动，所述支撑位置指该支撑构件的一部分与基板的下表面抵接的位置，所述待避位置指所述支撑构件与所述下表面相分离的位置；

所述支撑构件驱动部使多个所述支撑构件分别一边在上下方向上观察时远离所述基板的中心，一边向下方移动，来使该支撑构件从所述支撑位置移动至所述待避位置。

8.如权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，

该基板处理装置具有：

处理区，配置有所述表面清洗部、所述背面清洗部以及所述第1搬运机械手，

分度区，配置有第2搬运机械手，用于将未处理基板交付至所述处理区，并且从所述处理区取出已处理基板；

所述基板翻转装置设置在所述分度区与所述处理区的连接部分，

在所述第1搬运机械手和所述第2搬运机械手中的一个搬运机械手将基板搬入所述基板翻转装置的情况下，另一个搬运机械手将被所述基板翻转装置翻转的该基板搬出。