[发明专利]盖开闭装置

说明书

技术领域

本发明涉及在收纳被收纳物的收纳容器中进行盖部相对于容器主体的开闭的盖开闭装置。

背景技术

在半导体装置或者液晶显示装置等的制造工厂的洁净室中，半导体晶片或者玻璃基板等以收纳于收纳容器的状态被输送。因此，在收纳容器与各种装置之间移载被收纳物时，需要使用盖开闭装置进行盖部相对于容器主体的开闭。以往，为了迅速进行盖部相对于容器主体的开闭，提出了在盖开闭装置设置平衡收纳容器的内外压力差的压力平衡机构等各种技术(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利第3180600号公报

在上述半导体装置或者液晶显示装置等的制造工厂中，严格要求各种部件的输送效率的提高。因此，为了提高输送效率，在将盖部安装于容器主体时，也要求防止容器主体的抬起以及错位从而准确地安装盖部。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种能够在容器主体准确安装盖部的盖开闭装置。

本发明的一个方面的盖开闭装置对具备收纳被收纳物的容器主体、成为能够相对于容器主体开闭的底部且载置被收纳物的盖部、以及进行盖部相对于容器主体的开锁以及上锁的锁机构的收纳容器，进行盖部相对于容器主体的开闭，上述盖开闭装置具备：装置主体，其载置收纳容器；移动部，其具有在收纳容器载置于装置主体时与锁机构卡合的卡合部，该移动部通过使卡合部移动而进行用于使锁机构实施开锁的开锁动作、以及用于使锁机构实施上锁的上锁动作；以及容器固定部，在使锁机构进行开锁的情况下，该容器固定部与移动部联动而将容器主体固定于装置主体。

在该盖开闭装置中，在使移动部移动而使锁机构进行开锁的情况下，容器固定部与移动部联动，将容器主体固定于装置主体。这样，与锁机构的开锁动作联动地将容器主体固定于装置主体，所以例如在锁机构为开锁状态时安装盖部的情况下，也能够抑制容器主体抬起以及盖部错位等的产生。因此，根据该盖开闭装置，能够将盖部准确安装于容器主体。

这里，优选，上述移动部还具有：多个转动部件，所述转动部件具有卡合部，并且在装置主体支承为能够转动而使卡合部移动；连结部件，其至少将一对转动部件连结并使所述转动部件转动；以及致动器，其安装于装置主体，对连结部件施加驱动力，容器固定部与连结部件的移动联动。根据该结构，使用连结部件至少连结一对转动部件，从而能够使设置于该一对转动部件的卡合部在同一时刻动作。由此，能够同时进行与多个转动部件的卡合部对应设置的多个锁机构的开锁动作以及上锁动作。因此，能够抑制多个锁机构的开锁动作以及上锁动作产生差别而产生例如容器主体抬起以及盖部错位等。因此，根据该盖开闭装置，能够将盖部更准确地安装于容器主体。

优选，容器固定部具有按压容器主体的按压部件、和将按压部件向容器主体施力的施力部件，移动部还具有联动部件，该联动部件以如下方式动作：在实施上锁动作时使按压部件朝克服施力部件的作用力的方向离开容器主体，在实施开锁动作时允许施力部件对按压部件的施力。根据该结构，在固定容器主体时能够利用施力部件的作用力将按压部件按压于容器主体，所以不需要用于固定容器主体的特别的致动器等，能够简化装置结构。

优选，容器固定部还具有手柄部，该手柄部的基端侧在装置主体支承为能够转动且该手柄部的前端侧能够移动，按压部件是能够与容器主体弹性抵接的弹性辊，能够转动地安装于手柄部的前端侧，施力部件是对上述手柄部的前端侧施力的弹簧，联动部件是凸轮从动件，该凸轮从动件固定于该连结部件上的能够伴随着连结部件的移动而与手柄部抵接以及分离的位置，并使手柄部转动。根据该结构，使容器固定部为能够转动的手柄部，利用凸轮从动件使手柄部转动，从而能够使弹性辊对容器主体的按压动作以及按压的解除动作与移动部的移动联动。由此，不需要用于使手柄部转动的专用的致动器等，能够简化装置结构，能够实现节省电力。

根据本发明的一个方面，可提供能够将盖部准确安装于容器主体的盖开闭装置。

附图说明

图1是具备本发明的一实施方式的盖开闭装置的储料器的主视图。

图2是储料器沿图1的II－II线的剖视图。

图3是储料器沿图1的III－III线的剖视图。

图4是本发明的一实施方式的盖开闭装置的纵剖视图。

图5是图4的盖开闭装置的俯视图。

图6是其它状态下的图4的盖开闭装置的纵剖视图。

图7是利用图4的盖开闭装置开闭盖部的箱体的仰视图。

图8是图7的箱体的锁机构的放大图。