[发明专利]涂布扩散剂组合物、涂布扩散剂组合物的制造方法、太阳能电池及太阳能电池的制造方法无效
申请号: | 201380019198.1 | 申请日: | 2013-03-27 |
公开(公告)号: | CN104221134A | 公开(公告)日: | 2014-12-17 |
发明(设计)人: | 大井阳介;广庭大辅;桥本敬宏;圆山洋介 | 申请(专利权)人: | 长濑化成株式会社;夏普株式会社 |
主分类号: | H01L21/38 | 分类号: | H01L21/38;H01L21/225;H01L31/04 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 沈雪 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 扩散 组合 制造 方法 太阳能电池 | ||
1.一种涂布扩散剂组合物,其含有:钛酸酯、磷化合物、水及有机溶剂。
2.如权利要求1所述的涂布扩散剂组合物,其中,磷化合物为五氧化二磷和/或磷酸酯。
3.如权利要求1或2所述的涂布扩散剂组合物,其中,有机溶剂为醇。
4.如权利要求1~3中任一项所述的涂布扩散剂组合物,其中,水的浓度为5重量%以下。
5.如权利要求1~4中任一项所述的涂布扩散剂组合物,其中,水的浓度为0.05~1.5重量%。
6.如权利要求1~5中任一项所述的涂布扩散剂组合物,其中,钛原子与磷原子的重量比例(钛/磷)为0.5~0.9。
7.一种制造权利要求1~6中任一项所述的涂布扩散剂组合物的方法,该方法包括:
在配合了有机溶剂、磷化合物及水的溶液(A)中混合钛酸酯。
8.如权利要求7所述的涂布扩散剂组合物的制造方法,其中,在配合了有机溶剂及磷化合物的溶液(B)中混合水,制成溶液(A)。
9.如权利要求7或8所述的涂布扩散剂组合物的制造方法,其中,水为纯水。
10.一种太阳能电池,其具备使用权利要求1~6中任一项所述的涂布扩散剂组合物形成的n型扩散层及防反射膜。
11.一种太阳能电池的制造方法,其具有如下工序:在硅基板上涂布了权利要求1~6中任一项所述的涂布扩散剂组合物后,进行加热处理,由此,在所述硅基板上形成n型扩散层及防反射膜。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长濑化成株式会社;夏普株式会社,未经长濑化成株式会社;夏普株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201380019198.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:搜索方法、系统和网络机器人
- 下一篇:一种快速访问网页的方法、装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造