[发明专利]接合装置用加热器及其冷却方法

权利要求书

1.一种接合装置用加热器，其是陶瓷制的平板形的接合装置用加热器，其特征在于，包括：

第一面，供接合工具安装；

第二面，位于所述第一面的相反侧且供隔热材安装；

多数个毛细狭缝，设在所述第二面，所述毛细狭缝的沿所述第二面的方向的宽度小于与所述第二面垂直的方向的深度；及

凹陷，设于所述第二面的中央附近，且

多数个所述毛细狭缝与安装于所述第二面的所述隔热材的对准面形成多数个毛细冷却流路，

所述凹陷与安装于所述第二面的所述隔热材的对准面形成供冷却空气流入的空穴，

多数个所述毛细狭缝自所述空穴延伸至侧面。

2.一种接合装置用加热器，其是陶瓷制的平板形的接合装置用加热器，其特征在于，包括：

第一面，供接合工具安装；

第二面，位于所述第一面的相反侧且供隔热材安装；及

多数个毛细狭缝，设在所述第二面，所述毛细狭缝的沿所述第二面的方向的宽度小于与所述第二面垂直的方向的深度，

多数个所述毛细狭缝与安装于所述第二面的所述隔热材的对准面形成多数个毛细冷却流路，

于所述隔热材的所述对准面的中央附近设有第二凹陷，

所述第二凹陷与所述第二面形成供冷却空气流入的空穴，

多数个所述毛细狭缝是连通于所述空穴，且在对向的各侧面之间延伸。

3.一种冷却方法，其为陶瓷制的接合装置用加热器的冷却方法，其特征在于：所述接合装置用加热器是呈平板形状，具有供接合工具安装的第一面、及位于所述第一面的相反侧且供隔热材安装的第二面，且具备设在所述第二面上且沿所述第二面的方向的宽度小于与所述第二面垂直的方向的深度的多数个毛细狭缝，多数个所述毛细狭缝与安装于所述第二面上的所述隔热材的对准面形成多数个毛细冷却流路，

所述冷却方法包括：

冷却空气流量是使所述毛细冷却流路的出口的毛细狭缝中央的冷却空气温度成为较所述毛细狭缝的表面温度低预定阈值的温度的流量。