[实用新型]蓝宝石晶体炉取晶装置

说明书

技术领域

本实用新型蓝宝石单晶生产领域，特别是一种对于蓝宝石单晶生长炉的取晶装置。

背景技术

蓝宝石单晶生长炉行业，传统上都是装料一炉生长一炉，停炉冷却取晶体。泡生法，热交换法由于起构造原因目前都是一炉作为一个循环周期；导模法目前国内的工艺方法还是一炉一个周期，停炉，功率降到零，冷却到常温后再开炉取晶体。这样必然导致加热的反复损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种提高加热效率、减小不必要的热损失的蓝宝石晶体炉取晶装置。

为解决上述技术问题，本实用新型蓝宝石晶体炉取晶装置，包括：箱体，所述箱体为一侧开口的中空设计，在所述箱体的底部开有连接口，所述箱体的内腔通过所述连接口与蓝宝石晶体炉连接；锁扣，所述锁扣设置在所述箱体的开口处一侧；取晶门，所述取晶门的一侧通过铰链销轴旋转固定在所述箱体的开口处一侧，在所述取晶门上还设有定位扣，所述定位扣与所述锁扣对应；观察口，所述观察口设置在所述取晶门上；第一气道，所述第一气道设置在所述箱体上，所述第一气道与所述箱体内腔连通；第二气道，所述第二气道设置在所述箱体上，所述第二气道与所述箱体内腔连通；法兰盘，所述法兰盘设置在所述箱体的底部，所述箱体通过所述法兰盘与蓝宝石晶体炉连接。

在所述箱体的开口处还设有密封圈。所述密封圈为O型密封圈。

所述法兰盘为水冷法兰盘。

本实用新型蓝宝石晶体炉取晶装置可以在晶体移出主腔室后，在此作停留，再取出，主腔室不需要对加热功率做大的变动，有效地解决了加热器反复停止和增加功率的损耗。

附图说明

图1为本实用新型蓝宝石晶体炉取晶装置结构示意图。

本实用新型蓝宝石晶体炉取晶装置附图中附图标记说明：

1-箱体2-连接口3-锁扣

4-取晶门5-铰链销轴6-定位扣

7-观察口8-第一气道9-第二气道

10-水冷法兰盘 11-O型密封圈

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型蓝宝石晶体炉取晶装置作进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型蓝宝石晶体炉取晶装置，包括：箱体1，箱体1为一侧开口的中空设计，在箱体1的底部开有连接口2，箱体1的内腔通过连接口2与蓝宝石晶体炉连接，水冷法兰盘10设置在箱体1的底部，箱体1通过水冷法兰盘10与蓝宝石晶体炉连接，用以隔离热量隔绝真空。

取晶门4的一侧通过铰链销轴5旋转固定在箱体1的开口处一侧，在取晶门4上还设有定位扣6，定位扣6与设置在箱体1的开口处一侧的锁扣3对应，实现取晶门4的开关。在箱体1的开口处还设有O型密封圈11，起到密封的效果。

第一气道8、第二气道9分别设置在箱体1上、与箱体1内腔连通，第一气道8用于充入保护气体，第二气道9用于抽真空。

使用时，当晶体移动到箱体1，水冷法兰盘10隔离热量隔绝真空，晶体在箱体1中停留一定的时间，通过充气动作，实现内外气压一致，通过观察口7观察里面状况，打开锁扣3，打开箱体取晶门4，取出晶体；再关闭取晶门4，抽真空，充保护性气体，又可以进行下一个循环的取晶体操作。

本实用新型蓝宝石晶体炉取晶装置可以在晶体移出主腔室后，在此作停留，再取出，主腔室不需要对加热功率做大的变动，有效地解决了加热器反复停止和增加功率的损耗。

以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。