[实用新型]半导体工艺气路显示装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体生产工艺，更具体涉及一种半导体工艺气路显示装置。

背景技术

在生产半导体器件时，常需要使用各种气体完成相关工艺，而输入气体的管路需要监测和控制来保证工艺的实施。

当前半导体工艺中气路状态的显示和控制是通过屏幕操作界面来实现的，操作人员在进行操作和监控时需手动在各界面切换查找，过程繁琐，且配置的计算机和屏幕的成本较高。因此，考虑采用气路面板来代替传统的气路界面显示方法，实现直观的气路状态的显示以及一些相关的控制操作。

实用新型内容

在本实用新型中的目的是采用面板式的气路装置来代替传统的气路界面显示方法，实现直观的气路状态的显示。

为达到上述目的，本实用新型提供了一种半导体工艺气路显示装置，该装置包括面板和设置在面板上的气路模拟图，所述气路模拟图包括：

线路，用于表示输送气体的管路；

指示灯，设置在线路上，用于表示控制管路气体流通的对应电磁阀的通断状态；

数字显示模块，设置在线路上，用于显示对应管路的气体压力和/或气体流量。

优选地，所述气路模拟图还包括：

按钮，所述指示灯为按钮所带的指示灯，按钮用于在被按压时发出控制电磁阀开关的信号。

优选地，该装置还包括：

数据接口，用于接收表示管路状态的数据，并传输给气路模拟图中的指示灯、第一数字显示模块和第二数字显示模块。

优选地，所述面板为两个，设置有相同的气路模拟图，并位于半导体工艺设备的相对两侧。

优选地，该系统还包括：

第一切换旋钮，位于两个面板中的一个，其处于第一位置时，仅有一个面板的按钮可以在被按压时发出控制电磁阀开关的信号；其处于第二位置时，仅有另一个面板的按钮可以在被按压时发出控制电磁阀开关的信号。

优选地，该系统还包括：

第二切换旋钮，用于控制按钮是否可以在被按压时发出控制电磁阀开关的信号。

优选地，所述线路为印刷线路。

优选地，所述指示灯为LED灯。

优选地，所述指示灯通过亮灭来显示电磁阀的通断状态。

优选地，其特征在于，所述指示灯通过不同颜色来显示电磁阀的通断状态。

本实用新型提出的半导体工艺气路显示装置，采用设置在面板上的气路模拟图来显示电磁阀的实际通断状态、管路的气体压力以及气体流量，便于监视气路状态，造价低廉，使用简单。

该装置还可以设置控制电磁阀的按钮，从而在面板上远程实现对电磁阀的控制。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的气路显示装置的局部示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例仅用于说明本实用新型，而不能用来限制本实用新型的范围。

图1是本实用新型一个实施例的气路显示装置的局部示意图。气路显示装置包括面板和设置在面板上的气路模拟图，从图1可以看出，气路模拟图包括多条线路1、多个带指示灯的按钮2、多个第一、第二数字显示模块3和4。

线路1用于表示输送气体的管路。线路1可以例如为印刷线路，也可以采用粘附在面板上的各种材料的条状物实现。

按钮2带有指示灯，指示灯例如为LED，通过亮灭或不同颜色来显示电磁阀的通断状态，而按钮2用于在被按压时发出控制电磁阀开关的信号。

第一数字显示模块3，用于显示管路的气体流量，第二数字显示模块4用于显示管路的气体压力。这是显示实际气路中的流量计和压力表所测得的数据。

通过采用设置在面板上的气路模拟图来显示电磁阀的实际通断状态、管路的气体压力以及气体流量，便于监视气路状态，造价低廉，使用简单；设置了控制电磁阀的按钮，可以在面板上远程实现对电磁阀的控制。

在该实施例中，还可以设置数据接口（图中未示出），用于接收表示管路状态的数据，并传输给气路模拟图中的按钮2的指示灯、第一数字显示模块3和第二数字显示模块4。

在该实施例中，气路显示装置可以包括两个面板（图中未示出），设置有相同的气路模拟图，分别放在半导体工艺设备的相对两侧。此时，如图1所示，可以在一个面板上设置第一切换旋钮5，其处于第一位置时，仅有一个面板上的按钮可以在被按压时发出控制电磁阀开关的信号；其处于第二位置时，仅有另一面板上的按钮可以在被按压时发出控制电磁阀开关的信号。