[实用新型]一种高频感应加热的硅烷分解炉

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种多晶硅制造设备，具体涉及一种用于硅烷法多晶硅工艺的高频感应加热的硅烷分解炉，属于硅烷法多晶硅制造设备技术领域。

【背景技术】

众所周知，多晶硅是电子工业及光伏产业的基石，硅烷法多晶硅以其低能耗，低成本，高纯度的特点，已经成为多晶硅众多工艺中较优的一条路线。

现有技术的用于硅烷法多晶硅工艺的硅烷加热设备采用的加热体通常与物料直接接触，会造成污染，从而降低了产品纯度。而且，硅烷自由分解产生大量微硅粉无法再利用，降低了多晶硅的收率，造成了浪费。

因此，为避免上述技术问题，确有必要提供一种新型的高频感应加热的硅烷分解炉，以克服现有技术中的所述缺陷。

【实用新型内容】

为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种污染少、多晶硅收率高的高频感应加热的硅烷分解炉。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种高频感应加热的硅烷分解炉，其包括分解炉筒体、加芯热棒、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述加芯热棒收容于分解炉筒体内，其外表面设有一层耐磨耐高温材料层，于加热芯棒内设有冷却水管；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述加芯热棒插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。

本实用新型的高频感应加热的硅烷分解炉进一步设置为：于所述分解炉筒体内设有碳化硅内衬组件，该碳化硅内衬组件由线圈保护段、锥段和直段三部分搭接成整体，并通过固定圈与分解炉筒体固定。

本实用新型的高频感应加热的硅烷分解炉进一步设置为：所述加芯热棒通过填料密组件与分解炉筒体连接。

本实用新型的高频感应加热的硅烷分解炉进一步设置为：所述分解炉筒体包括一扩大段和一直筒段，于该分解炉筒体外表面包覆一层保温材料层。

本实用新型的高频感应加热的硅烷分解炉还设置为：于所述分解炉筒体的顶端设置有微硅粉进口；于所述分解炉筒体的底端设置硅烷进口。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型的高频感应加热的硅烷分解炉利用高频感应加热的原理，对微硅粉进行加热使其熔化，利用硅液珠将热量传递给硅烷气体使其分解，实现了微硅粉的再利用；同时，耐磨耐高温材料层以及碳化硅内衬组件能防止物料和金属接触，避免了污染，从而提高了产品纯度。

【附图说明】

图1是本实用新型的高频感应加热的硅烷分解炉的示意图。

【具体实施方式】

请参阅说明书附图1所示，本实用新型为一种高频感应加热的硅烷分解炉，其安装在硅烷气体纯化之后，其主要由分解炉筒体1、加芯热棒2、感应线圈3以及高频感应配电箱4等几部分组成。

其中，所述分解炉筒体1包括一扩大段11和一直筒段12。于该分解炉筒体1外表面包覆一层保温材料层5，从而增强该硅烷分解炉的保温性。进一步的，于所述分解炉筒体1的顶端设置有微硅粉进口13，微硅粉由该微硅粉进口13进入，实现微硅粉的再利用。于所述分解炉筒体1的底端设置硅烷进口14，硅烷气体由该硅烷进口14进入，进行热分解。

所述加芯热棒2为高频感应加热器的热载体，其收容于分解炉筒体1内。于该加芯热棒2的外表面设有一层耐磨耐高温材料层21，该耐磨耐高温材料层21保护芯棒同时可减少污染。于加热芯棒2内设有冷却水管22，其能保护加热芯棒2，防止局部温度过高。进一步的，所述加芯热棒2通过填料密组件6与分解炉筒体1连接，该填料密组件6能增加加芯热棒2和分解炉筒体1之间的气密性。

所述感应线圈3设置于分解炉筒体1内，其通过冷却密封组件7与高频感应配电箱4相连接，所述加芯热棒2插入感应线圈3内。该感应线圈3能够提供感应磁场，从而使加芯热棒2发热。所述冷却密封组件7既能起到密封作用，又能隔绝热传导。

所述高频感应配电箱4安装于分解炉筒体1的一侧，其为感应线圈3提供电能。

于所述分解炉筒体1内设有碳化硅内衬组件8，该碳化硅内衬组件由线圈保护段81、锥段82和直段83三部分搭接成整体，并通过固定圈9与分解炉筒体1固定。该碳化硅内衬组件8用于防止金属对物料的污染，同时线圈保护段81具有隔离感应线圈3，防止其过热的作用。

以上的具体实施方式仅为本创作的较佳实施例，并不用以限制本创作，凡在本创作的精神及原则之内所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本创作的保护范围之内。