[实用新型]用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种适用于脉冲激光刻蚀的运动平台，尤其涉及一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构。

背景技术

现有的脉冲激光刻蚀ITO设备中的PET薄膜导电膜层加工装置的X-Y-Z运动平台，XY两轴均采用直线电机，这样运动平台相应速度快，精度也比较高，但制作成本却十分昂贵。另外，直线电机维护维修也比较繁琐。因此，有必要提供一种更加经济并适用于脉冲激光刻蚀ITO PET薄膜上导电膜层装备的X-Y-Z运动平台，从而大幅降低了设备的生产成本。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，能够大大降低制作成本，易于维护维修，而且设备的响应速度及精度均满足生产使用要求。

本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其中，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元。

上述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其中，所述X轴传送单元包括第一伺服电机、第一丝杠、第一直线导轨、X轴板和第一防护罩；所述Y轴传送单元包括第二伺服电机、第二丝杠、第二直线导轨、Y轴板和第二防护罩；所述Z轴传送单元包括第三伺服电机、第三丝杠、第三直线导轨和Z轴板；所述Z轴板安装在X轴板上，所述Y轴板安装在真空平台的下方。

上述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其中，所述X轴板上设有第一光栅尺和第一光电限位开关。

上述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其中，所述Y轴板上设有第二光栅尺和第二光电限位开关。

上述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其中，所述Z轴板上设有第三光电限位开关。

上述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其中，所述光栅尺的分辨率为1um。

本实用新型对比现有技术有如下的有益效果：本实用新型提供的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，采用伺服电机并配合丝杠来替代直线电机，并且伺服电机及丝杠的装配比直线电机更加方便快捷，由此产生的制作成本较原来降低了约一半多，并且伺服电机维护维修较直线电机也是更加容易、方便。

附图说明

图1为本实用新型用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构结构示意图。

图中：

1  第一伺服电机     2  第一丝杠      3  第一直线导轨

4  X轴板            5  第一防护罩    6  第二伺服电机

7  第二丝杠         8  第二直线导轨  9  Y轴板

10 第二防护罩       11 第三伺服电机  12 第三丝杠

13 第三直线导轨     14 Z轴板         15 第一光栅尺

16 第一光电限位开关 17 第二光栅尺    18 第二光电限位开关

19 第三光电限位开关

具体实施方式

下面结合附图和实施案例对本实用新型作进一步的描述。

图1为本实用新型用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构结构示意图。

请参见图1，本实用新型提供的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其中，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元。

本实用新型提供的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，所述X轴传送单元包括第一伺服电机1、第一丝杠2、第一直线导轨3、X轴板4和第一防护罩5；所述Y轴传送单元包括第二伺服电机6、第二丝杠7、第二直线导轨8、Y轴板9和第二防护罩10；所述Z轴传送单元包括第三伺服电机11、第三丝杠12、第三直线导轨13和Z轴板14；所述Z轴板14安装在X轴板4上，所述Y轴板9安装在真空平台(图未示)的下方。

本实用新型提供的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，所X轴传送单元和Y轴传送单元可安装在大理石上，由于Z轴板14安装与X轴板4上，Z轴可进行上下往复运行，而X轴则可带动Z轴进行左右往复运行，Y轴则进行前后往复运行。运动精确定位可通过光栅尺和光电限位开关实现。具体可设置如下：所述X轴板上设有第一光栅尺15和第一光电限位开关16；所述Y轴板上设有第二光栅尺17和第二光电限位开关18；所述Z轴板上设有第三光电限位开关19；所述光栅尺的分辨率优选为1um，这就保证了XY轴的精确定位。

虽然本实用新型已以较佳实施案例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本实用新型的保护范围当以权利要求书所界定的为准。