[实用新型]用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构有效
| 申请号： | 201320825097.0 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN203599719U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 龚楷峰;刘俊辉;施心星 | 申请（专利权）人： | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;B23K26/362 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 脉冲 激光 刻蚀 联动 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其特征在于，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元。
2.如权利要求1所述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其特征在于，所述X轴传送单元包括第一伺服电机、第一丝杠、第一直线导轨、X轴板和第一防护罩；所述Y轴传送单元包括第二伺服电机、第二丝杠、第二直线导轨、Y轴板和第二防护罩；所述Z轴传送单元包括第三伺服电机、第三丝杠、第三直线导轨和Z轴板；所述Z轴板安装在X轴板上，所述Y轴板安装在真空平台的下方。
3.如权利要求2所述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其特征在于，所述X轴板上设有第一光栅尺和第一光电限位开关。
4.如权利要求2所述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其特征在于，所述Y轴板上设有第二光栅尺和第二光电限位开关。
5.如权利要求2所述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其特征在于，所述Z轴板上设有第三光电限位开关。
6.如权利要求3或4所述的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其特征在于，所述光栅尺的分辨率为1um。
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