[实用新型]机器人手和搬送机器人

说明书

技术领域

本实用新型涉及机器人手和搬送机器人。

背景技术

以往，已知有用于搬送薄板状的被搬送物的搬送机器人，其例如在收纳库和预定的处理装置之间搬送半导体元件制造用晶片或液晶面板用玻璃基板等。

一般的搬送机器人具备：多个臂，它们以能够转动的方式相互连结；以及机器人手，其安装在最末端侧臂的末端，始终朝向固定方向并以直线移动。并且，在所述机器人手上载置有被搬送物。

用于载置薄板状的被搬送物的机器人手通常是将形成为棒状的2～4根叉主体相互平行地配置而构成的。为了维持刚性并实现轻量化，在所述机器人手中，存在使叉主体形成为中空形状的结构。

作为关于上述现有技术的文献，例如存在日本特开2004－148476号公报。

但是，为了使叉主体形成为中空形状，上述文献中公开的机器人手使用了截面呈四边形的管材。在形成为截面呈四边形的情况下，作为被搬送物的载置面的管材的上表面在两侧存在大致直角的角部。

因此，例如在玻璃基板等薄板状的被搬送物的中间部由于自重而垂下的情况下，有可能直接与管材接触而受到损伤。

实用新型内容

实施方式的一个形态的目的在于提供能够解决上述课题的机器人手和搬送机器人。

实施方式的一个形态的机器人手具备：多个叉主体；和主体支承部，其以所述多个叉主体相互平行配置的状态支承各所述叉主体的基部。机器人手将被搬送物载置在所述多个叉主体上，其中，所述叉主体的外周面由曲面形成。

优选的是，所述叉主体从横截面观察为椭圆形状。

优选的是，所述叉主体通过带状的碳纤维强化塑料形成为中空状，所述碳纤维强化塑料被卷绕成层状。

优选的是，所述碳纤维强化塑料的至少最外层相对于所述叉主体的中心轴线倾斜地卷绕。

优选的是，在所述叉主体的上表面沿长边方向交替地配置有吸引部和突起部，所述吸引部用于吸附所述被搬送物，所述突起部用于支承垂下的所述被搬送物。

优选的是，所述叉主体形成为其厚度从基端侧向末端侧逐渐变薄。

优选的是，所述叉主体具备水平保持构件，所述水平保持构件将所述叉主体的形成锥面的上表面保持为水平状态，并且所述水平保持构件与所述主体支承部相连结。

实施方式的一个形态的搬送机器人具备上述机器人手。

根据实施方式的一个形态，能够维持机器人手的刚性并实现轻量化，并且，即使薄板状的被搬送物的中间部由于自重而垂下，也能够尽量防止被搬送物与叉主体直接接触的可能性。

附图说明

对照附图阅读以下的实用新型的详细说明，能够容易地理解对本实用新型的更为完整的认识和与其相伴的优点。

图1是本实施方式的搬送机器人的立体图。

图2是所述搬送机器人所具备的机器人手的立体图。

图3是所述机器人手的俯视图。

图4是机器人手所具备的叉主体的俯视图。

图5是沿图4的A－A’线的剖视图。

图6是沿图4的B－B’线的剖视图。

图7是沿图4的C－C’线的剖视图。

图8是基板检测传感器的说明图。

图9是叉主体的侧视图。

图10是示出叉主体的安装状态的剖视说明图。

图11是示意性地示出基板载置于机器人手的状态的说明图。

图12是示意性地示出形成叉主体的碳纤维强化塑料的卷绕方向的说明图。

具体实施方式

搬送机器人例如能够在预定位置之间搬送半导体元件制造用晶片或液晶用玻璃基板等这样的薄板状的被搬送物。此外，机器人手设置于搬送机器人，其具有能够稳定地载置被搬送物的结构。以下，参照附图，对本申请公开的机器人手和搬送机器人的实施方式进行详细说明。

图1是本实施方式的搬送机器人的立体图，图2是所述搬送机器人所具备的机器人手的立体图，图3是其俯视图，图4是机器人手所具备的叉主体的俯视图。此外，本实用新型并不受以下示出的实施方式限定。

首先，使用图1对本实施方式的搬送机器人的概要进行说明。如图1所示，本实用新型的搬送机器人100例如具备手部200，手部200用于载置作为被搬送物的液晶面板用玻璃基板（以下称为“基板300”）。通过使手部200进行动作，能够在预定位置之间搬送基板300。

在这里，预定位置之间是指例如均未图示的预定的收纳库和处理装置之间，能够将基板300从所述收纳库取出并搬送到处理装置，并将处理结束后的基板300从处理装置搬送到收纳库。