[实用新型]半导体元件的镀锅有效
申请号: | 201320545271.6 | 申请日: | 2013-09-03 |
公开(公告)号: | CN203546139U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 呙昇华 | 申请(专利权)人: | 跃澐科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;H01L21/673 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 陈践实 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 元件 | ||
1.一种半导体元件的镀锅,其特征在于,包括:
一个下本体,该下本体开设有数个下开口;
一个上本体,该上本体叠合于下本体上方;该上本体,开设有数个上开口,该上开口的位置对应于该下开口的位置;该各上开口旁,设置有压制元件;该压制元件包括有一个压制体,且各压制体伸探位于该上开口范围内部。
2.如权利要求1所述的半导体元件的镀锅,其特征在于:该下本体的各下开口中均设有承载环,且各下开口对应设有盖板。
3.如权利要求1所述的半导体元件的镀锅,其特征在于:该压制元件还包括有一个定位板,其中该定位板固设于上本体,而该压制体自定位板延伸设置。
4.如权利要求1所述的半导体元件的镀锅,其特征在于:该上本体顶面设有提把。
5.如权利要求1所述的半导体元件的镀锅,其特征在于:该上本体与下本体实施时组合成一体。
6.如权利要求1所述的半导体元件的镀锅,其特征在于:该镀锅以不锈钢、钛或铝制作。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于跃澐科技股份有限公司,未经跃澐科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320545271.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种明日叶胶囊及制备方法
- 下一篇:用于晶圆边缘修整的研磨轮
- 同类专利
- 专利分类