[实用新型]用于光学和电子器件的图案化结构基板有效
申请号: | 201320345033.0 | 申请日: | 2013-06-17 |
公开(公告)号: | CN203339140U | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 高鞠 | 申请(专利权)人: | 苏州晶品光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L23/13;H01L23/373 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 215211 江苏省苏州市吴江区汾*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 光学 电子器件 图案 结构 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于光学和电子器件的图案化结构基板,包括金属基体,其特征在于在所述金属基体上形成有过渡层,在所述过渡层上形成有陶瓷层,并通过蚀刻所述陶瓷层以及过渡层形成多个隔离基座。
2.根据权利要求1所述的用于光学和电子器件的图案化结构基板,其特征在于所述陶瓷层的厚度为10-500 μm。
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