[发明专利]掩膜版、滤光板及其制造方法、IPS/FFS液晶显示装置在审
| 申请号： | 201310713997.0 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN104730753A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 郁侃;陈颖明;范刚洪;张莉 | 申请（专利权）人： | 上海仪电显示材料有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜版 滤光 及其 制造 方法 ips ffs 液晶 显示装置 | ||
1.一种用于形成滤光板的掩膜版，其特征在于，包括：
基板；
位于所述基板上的挡光层，所述挡光层设有：第一图案区域、被第一图案区域包围的第二图案区域及第三图案区域；
所述第一图案区域用于形成平坦层、并具有多个第一开口，所述第一开口内填充有半透膜；
所述第二图案区域用于形成主间隔柱；
所述第三图案区域用于形成副间隔柱。
2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一开口为多边形或多边形环。
3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述第一开口为多边形时边长为1.5μm～3.5μm，所述第一开口为多边形环时线幅为1.5μm～3.5μm，相邻两个所述第一开口之间的距离为1μm～3μm。
4.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第二图案区域具有唯一的第二开口。
5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，所述第二开口与相邻的第一开口之间的距离为0μm～3μm。
6.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第三图案区域具有多个第三开口。
7.根据权利要求6所述的掩膜版，其特征在于，所述第三开口为多边形或多边形环。
8.根据权利要求7所述的掩膜版，其特征在于，所述第三开口为多边形时边长为1.5μm～3.5μm，所述第三开口为多边形环时线幅为1.5μm～3.5μm，相邻两个所述第三开口之间的距离为1μm～3μm。
9.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第三图案区域具有唯一、并填充有半透膜的第三开口。
10.根据权利要求1或9所述的掩膜版，其特征在于，所述半透膜的透过率为15%～30%。
11.根据权利要求6或9所述的掩膜版，其特征在于，所述第三开口与相邻的第一开口之间的距离为0μm～3μm。
12.一种滤光板的制造方法，其特征在于，包括：
提供基底；
在所述基底上形成遮光图案层及滤光层；
在基底、遮光图案层及滤光层上形成光阻层，利用权利要求1至11任一项所述的掩膜版对所述光阻层进行光刻，在所述光阻层上对应所述第一图案区域的位置形成平坦层，在所述光阻层上对应所述第二图案区域的位置形成主间隔柱，在所述光阻层上对应所述第三图案区域的位置形成副间隔柱。
13.一种滤光板，其特征在于，包括：
基底；
位于所述基底上的遮光图案层及滤光层；
位于所述基底、遮光图案层及滤光层上的平坦层、主间隔柱及副间隔柱，所述主间隔柱、副间隔柱及平坦层为一体结构，且所述平坦层、主间隔柱及副间隔柱的材料均为光阻。
14.一种IPS/FFS液晶显示装置，其特征在于，包括：权利要求13所述的滤光板。
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