[发明专利]一种用于晶体生长炉冷却水量调节的控制装置

权利要求书

1.一种用于晶体生长炉冷却水量调节的控制装置，其特征在于，包括一个储水体、流量监测设备与流量调节设备；所述储水体内设储水腔体，所述储水体设一接通储水腔体的总进水口和多个都接通储水腔体的出水口，所述每一出水口都装设有流量监测设备和流量调节设备；通过对晶体生长炉中的氧化铝熔夜表面流速的观测，控制流量监测设备和流量调节设备，以达到对各个出水口的冷却水流量的精确调节。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉冷却水量调节的控制装置，其特征在于，所述储水体为圆形盘体，总进水口位于圆盘上表面中心，各出水口设在圆盘的周向上，且各出水口到中心进水口的距离相同。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉冷却水量调节的控制装置，其特征在于，所述流量监测设备为电子流量器。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉冷却水量调节的控制装置，其特征在于，所述流量调节设备为水流量调节阀。

5.一种采用权利要求1至4中任一项所述的一种用于晶体生长炉冷却水量调节的控制装置来控制蓝宝石晶体生长温场温度的方法：

在化料阶段，各出水口的水流量控制在150～160ml/s；

在放肩阶段，通过判断炉内晶体放肩的生长趋势，控制所述流量监测设备和流量调节设备，以对炉腔各单独支路进行调节以达到温场温度梯度精确对称；

在退火阶段，各出水口的水流量可控制在130～150ml/s，此阶段晶体生长完成，炉内温度降低，水流量降低后可降低能耗。