[发明专利]一种具有异质结结构的双极型功率半导体器件在审

专利信息
申请号: 201310637564.1 申请日: 2013-11-29
公开(公告)号: CN103887333A 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 何敏;陈思哲;王珏 申请(专利权)人: 杭州恩能科技有限公司
主分类号: H01L29/739 分类号: H01L29/739;H01L29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310013 浙江省杭州市西湖区文三*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 异质结 结构 双极型 功率 半导体器件
【权利要求书】:

1.一种具有异质结结构的双极型功率半导体装置,其特征:栅极电极;源极电极和漏极电极; 

含有基于IV族化合物半导体碳化硅(SiC)的异质结结构,并与所述栅极电极,源极电极和漏极电极形成欧姆接触。 

2.如权利1要求所述的器件,其中,表层半导体形成控制电流导通与关断的沟道。 

3.如权利1要求所述的器件,其中,表层沟道的形成或是垂直型,或是平面型,沟道开通和关断的控制方式可以是结型场效应控制或者金属-绝缘层-半导体场效应控制。 

4.如权利1要求所述的器件,其中,栅极电极和源极电极分别位于器件正面,漏极电极位于器件背面。

5.如权利1要求所述的器件,其中,导通过程中由电子和空穴两种导电粒子共同作用,为双极型器件。 

6.如权利1要求所述的器件,其中,导电沟道和外延区域是同类半导体材料。 

7.如权利1要求所述的器件,其中,衬底材料与外延层及器件沟道为异质半导体材料。 

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