[发明专利]一种具有异质结结构的双极型功率半导体器件在审
申请号: | 201310637564.1 | 申请日: | 2013-11-29 |
公开(公告)号: | CN103887333A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 何敏;陈思哲;王珏 | 申请(专利权)人: | 杭州恩能科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310013 浙江省杭州市西湖区文三*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 异质结 结构 双极型 功率 半导体器件 | ||
1.一种具有异质结结构的双极型功率半导体装置,其特征:栅极电极;源极电极和漏极电极;
含有基于IV族化合物半导体碳化硅(SiC)的异质结结构,并与所述栅极电极,源极电极和漏极电极形成欧姆接触。
2.如权利1要求所述的器件,其中,表层半导体形成控制电流导通与关断的沟道。
3.如权利1要求所述的器件,其中,表层沟道的形成或是垂直型,或是平面型,沟道开通和关断的控制方式可以是结型场效应控制或者金属-绝缘层-半导体场效应控制。
4.如权利1要求所述的器件,其中,栅极电极和源极电极分别位于器件正面,漏极电极位于器件背面。
5.如权利1要求所述的器件,其中,导通过程中由电子和空穴两种导电粒子共同作用,为双极型器件。
6.如权利1要求所述的器件,其中,导电沟道和外延区域是同类半导体材料。
7.如权利1要求所述的器件,其中,衬底材料与外延层及器件沟道为异质半导体材料。
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