[发明专利]一种复合缓蚀阻垢剂组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种复合缓蚀阻垢剂组合物，其特征在于，该组合物含有水溶性氧化性无机金属盐、无机磷化合物、有机膦化合物、吸附膜型缓蚀剂、无磷分散聚合物、水溶性无机锌盐、氧化剂和除磷酸以外的无机酸，其中，所述水溶性氧化性无机金属盐、所述无机磷化合物、所述有机膦化合物、所述吸附膜型缓蚀剂、所述无磷分散聚合物、所述水溶性无机锌盐、所述氧化剂和所述除磷酸以外的无机酸的重量比为1：0.1-3：0.1-10：0.5-50：0.5-50：0.5-25：0.5-5：0.5-10。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述水溶性氧化性无机金属盐、所述无机磷化合物、所述有机膦化合物、所述吸附膜型缓蚀剂、所述无磷分散聚合物、所述水溶性无机锌盐、所述氧化剂和所述除磷酸以外的无机酸的重量比为1：0.2-1：0.2-3：1-10：1-10：1-5：1-2：1-3。

3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述水溶性氧化性无机金属盐为选自钼酸钠、钼酸钾、钼酸铵、钨酸钠、钨酸钾和钨酸铵中的至少一种。

4.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述无机磷化合物为选自磷酸、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾、磷酸二氢铵、磷酸氢二钠、磷酸氢二钾、和磷酸氢二铵中的至少一种。

5.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述有机膦化合物为2-羟基膦基乙酸和/或2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸。

6.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述吸附膜型缓蚀剂为选自水解聚马来酸酐、聚天冬氨酸和聚环氧琥珀酸中的至少一种。

7.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述无磷分散聚合物为选自聚(甲基)丙烯酸及其盐、(甲基)丙烯酸与(甲基)丙烯酸甲酯或羟丙酯的二元共聚物、(甲基)丙烯酸与2-丙烯酰胺基-2-甲基-丙磺酸的二元共聚物、(甲基)丙烯酸与2-丙烯酰胺基-2-甲基-丙磺酸和马来酸酐的三元共聚物、(甲基)丙烯酸与2-丙烯酰胺基-2-甲基-丙磺酸和马来酸酐的三元共聚物以及(甲基)丙烯酸与(甲基)丙烯酸甲酯和(甲基)丙烯酸羟丙酯的三元共聚物中的至少一种。

8.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述水溶性无机锌盐为选自氯化锌、硝酸锌和硫酸锌中的至少一种。

9.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述氧化剂为选自高氯酸、次氯酸、过硫酸、过氧乙酸及其钾盐和钠盐、过氧碳酸以及过氧化氢中的至少一种。

10.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述除磷酸以外的无机酸为选自硫酸、硝酸和盐酸中的至少一种。

11.一种复合缓蚀阻垢剂的制备方法，该方法包括将复合缓蚀阻垢剂组合物中的各个组分与水混合，其特征在于，所述复合缓蚀阻垢剂组合物为权利要求1-10中任意一项所述的组合物。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，相对于100重量份制备的复合缓蚀阻垢剂，水的用量为30-95重量份，所述复合缓蚀阻垢剂组合物的用量为5-70重量份。

13.根据权利要求11或12所述的方法，其中，将所述复合缓蚀阻垢剂组合物中的各个组分与水混合的过程包括以下步骤：

（1）将水溶性氧化性无机金属盐和无机磷化合物溶解于水中，并向得到水溶液中加入除磷酸以外的无机酸，制得第一混合物；

（2）将有机膦化合物与氧化剂混合接触，得到第二混合物；

（3）将吸附膜型缓蚀剂、无磷分散聚合物和水溶性无机锌盐溶解于水中，制成第三混合物；

（4）将所述第一混合物、所述第二混合物和所述第三混合物混合。