[发明专利]一种Zigbee的红外线传感器制作方法

权利要求书

1.一种Zigbee的红外线传感器制作方法，其特征在于，按照如下步骤进行：

（1）提供衬底；

（2）在所述衬底中细加工形成多个凹槽，在所述凹槽内填充第一释放牺牲层，在所述衬底表面覆盖膜片；

（3）在所述膜片上形成下部电极；

（4）进行气相释放工艺去除第一释放牺牲层；

（5）在所述膜片和下部电极上形成热电层；

（6）在基片上表面上形成红外结构吸收层，在该基片中局部地形成多个像素，在该红外结构吸收层的形成步骤中，沉积一种胶质微粒的分散体，从而形成一种覆盖于所述基片的吸收层，所述吸收层在热电层的上面；

（7）然后去除部分所述吸收层以便形成多个基本吸收区，它们分别与所述多个像素连接。

2. 根据权利要求1所述的Zigbee的红外线传感器制作方法，其特征在于，所述红外结构吸收层的形成包括以下几个步骤：

（1）把具有多个开孔的掩模放到所述基片上，这些开孔确定出所述基本吸收区； 

（2）沉积由胶质微粒形成的所述红外结构吸收层；

（3）去除所述掩模使得局部去除上述基本上是均匀的层，以便只让这种层保留在多个所述基本吸收区中。

3. 根据权利要求1或2所述的Zigbee的红外线传感器制作方法，其特征在于，所述胶质微粒是由Ti或TiN构成的，其直径小于90微米，所述红外结构吸收层的厚度小于10微米。

4.根据权利要求3所述的Zigbee的红外线传感器制作方法，其特征在于：所述膜片为多孔聚酰亚胺。

5.根据权利要求4所述的 Zigbee的红外线传感器制作方法，其特征在于，所述衬底为SOI衬底。