[发明专利]一种以回收硅片线锯屑粉制备富α相氮化硅-碳化硅复合粉体的方法

权利要求书

1.一种以回收提纯硅片线锯屑粉制备富α相氮化硅-碳化硅粉体的方法，其特征在于：采用气氛保护炉对硅片线锯屑粉进行多步氮化，保护气氛为氮气、氮氢混合气、氨气中一种或几种混合气体，氩气作为辅助气体，氮化温度分两段或多段进行，第一阶段温度为600℃~900℃，最高温度为1300℃~1380℃，保温时间以原料的用量来确定，然后对氮化产物进行粉磨得到富α相氮化硅-碳化硅粉体。

2.根据权利要求1所述的一种以回收提纯硅片线锯屑粉制备富α相氮化硅-碳化硅粉体的方法，其特征在于所述氮氢混合气中氢气的体积分数为0%~50%。

3.根据权利要求1所述的一种以回收提纯硅片线锯屑粉制备富α相氮化硅-碳化硅粉体的方法，其特征在于所述氩气的体积分数为0%~80%。

4.根据权利要求1所述的一种以回收提纯硅片线锯屑粉制备富α相氮化硅-碳化硅粉体的方法，其特征在于所述硅片线锯屑粉为多晶硅与单晶硅太阳能电池片、电子半导体产业使用的硅晶圆等切割所产生的线锯砂浆回收尾料，包括硅片线锯砂浆在线回收尾料和离线回收尾料。

5.根据权利要求1所述的一种以回收提纯硅片线锯屑粉制备富α相氮化硅-碳化硅粉体的方法，其特征在于所述回收提纯硅片线锯屑粉为从硅片线锯砂浆回收尾料中分离提取回收的硅片锯屑粉。

6.根据权利要求1所述的一种以回收提纯硅片线锯屑粉制备富α相氮化硅-碳化硅粉体的方法，其特征在于所述气氛保护炉为静止气氛保护炉、间歇动态回转炉中的任意一种。

7.根据权利要求1所述的一种以回收提纯硅片线锯屑粉制备富α相氮化硅-碳化硅粉体的方法，其特征在于所述回收提纯硅片线锯屑粉中碳化硅相含量可根据氮化硅-碳化硅产物要求进行调节，调节范围可为0%-80%之间。