[发明专利]一种成像系统的成像质量检测方法及系统

权利要求书

1.一种成像系统的成像质量检测方法，其特征是，包括如下步骤：

（1）生成多幅m×n大小的随机图像并显示在液晶屏上；其中m和n为大于2的自然数；

（2）通过待测光学系统将屏幕上的随机图像成像在CCD图像传感器上；

（3）根据原始图像和CCD采集到的图像的功率谱密度，得到待测光学系统的二维调制传递函数；

（4）用高阶泽尼克多项式来描述波前差，构建波前差方程组后，对调制传递函数与波前差之间的函数关系进行解算，求出待测系统波前差。

2.如权利要求1所述的成像系统的成像质量检测方法，其特征是：所述步骤（4）中求出待测系统波前差是利用公式：

对于实际系统，上式左边的项通过不同的MTF测量方法测量得到，因此将上式右边项中的波前差W(x,y)利用泽尼克多项式进行拟合，将一个测量数据点代入上式中就可以得到一个只含有拟合系数的方程，如果代入足够多的测量数据点，就可以构成一个以拟合系数为变量的方程组，解这个方程组得到拟合系数后，就可以得到波前差的表达式；

其中，

B=∫∫S(ξ,η)cos[kA(x,y)]dxdyS0]]>

C=∫∫S(ξ,η)sin[kA(x,y)]dxdyS0]]>

A(x,y)=W(x+λd_iξ,y+λd_iη)-W(x,y)

(ξ,η)为频域坐标，S₀为系统出瞳面积，S(ξ,η)为相对于原始出瞳偏移(-λd_iξ,-λd_iη)的新出瞳与原始出瞳的重叠区域，k为波矢，λ为波长并且有k=2π/λ，d_i为出瞳到像面的距离，W(x,y)为出瞳处实际波前相对于理想波前的偏差。