[发明专利]固体拍摄装置

权利要求书

1.一种固体拍摄装置，其中，具备：

半导体基板，其具有像素区域以及周边电路区域且具有第1以及第2主面；

布线结构，其设置于所述半导体基板的第1主面，具有电连接于所述周边电路区域的多个第1布线层；

第2布线层，其在所述周边电路区域且在所述半导体基板的第2主面设置；

第3布线层，其夹着绝缘层设置在所述第2布线层的上方；和

多个贯通电极，其将所述第2以及第3布线层与所述布线结构电连接，贯通所述半导体基板。

2.根据权利要求1所述的固体拍摄装置，其中，

所述多个贯通电极包括：

第1贯通电极，其将所述第2布线层与所述布线结构电连接，贯通所述半导体基板；和

第2贯通电极，其将所述第3布线层与所述布线结构电连接，贯通所述半导体基板。

3.根据权利要求1所述的固体拍摄装置，其中，

所述第2以及第3布线层分别在所述周边电路区域形成为平面状。

4.根据权利要求1所述的固体拍摄装置，其中，

还具备过孔插塞，该过孔插塞将所述第2布线层与所述第3布线层电连接。

5.根据权利要求1所述的固体拍摄装置，其中，

所述第2布线层包括通过缝隙分离开的多个第1布线部分，

所述第3布线层包括通过缝隙分离开的多个第2布线部分。

6.根据权利要求5所述的固体拍摄装置，其中，

所述第3布线层的缝隙处于俯视不同于所述第2布线层的缝隙的位置。

7.根据权利要求5所述的固体拍摄装置，其中，

所述第2以及第3布线层形成为覆盖所述周边电路区域。

8.根据权利要求1所述的固体拍摄装置，其中，

所述第2以及第3布线层包含遮光材料而构成。

9.根据权利要求1所述的固体拍摄装置，其中，

还具备遮光膜，该遮光膜在所述像素区域的一部分且在所述半导体基板的第2主面设置，

所述第2以及第3布线层包含与所述遮光膜相同的材料而构成。

10.根据权利要求1所述的固体拍摄装置，其中，

所述第2以及第3布线层为电源线或信号线。

11.根据权利要求2所述的固体拍摄装置，其中，

所述第2布线层为电源线且在所述周边电路区域形成为平面状，

所述第3布线层为信号线。

12.根据权利要求11所述的固体拍摄装置，其中，

所述第1贯通电极配置在所述第2贯通电极的附近。

13.根据权利要求12所述的固体拍摄装置，其中，

所述第1贯通电极形成为，包围所述第2贯通电极的周围。

14.根据权利要求11所述的固体拍摄装置，其中，

还具备屏蔽布线，该屏蔽布线形成为，包围所述第3布线层的周围，

所述屏蔽布线与所述第2布线层电连接。

15.根据权利要求1所述的固体拍摄装置，其中，

还具备多个受光元件，该多个受光元件在所述像素区域且在所述半导体基板的第2主面设置。