[发明专利]一种纳米线紫外光探测器及其制备方法与应用无效
申请号: | 201310367119.8 | 申请日: | 2013-08-21 |
公开(公告)号: | CN103441180A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 相文峰;潘亚武 | 申请(专利权)人: | 中国石油大学(北京) |
主分类号: | H01L31/09 | 分类号: | H01L31/09;H01L31/0352;H01L31/032;H01L31/18;G01J1/42;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 丁香兰;韩蕾 |
地址: | 102249*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 紫外光 探测器 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种纳米线紫外光探测器,其特征在于,所述探测器包括基底层(1)、位于基底层(1)上的光响应层(2),第一电极(3)和第二电极(4),分别连接第一电极引线(5)和第二电极引线(6),所述光响应层为Ni-NiO纳米线。
2.根据权利要求1所述的探测器,其特征在于,所述Ni-NiO纳米线为纳米线阵列,优选所述纳米线阵列的每个单元的面积为1cm×1cm;所述Ni-NiO纳米线垂直于基底层(1);或者所述Ni-NiO纳米线为单根纳米线,所述Ni-NiO纳米线平行于基底层(1);当所述纳米线垂直于基底层(1)时,纳米线分布密度为1~50根/um2,更优选为11根/um2,当纳米线平行于基底层(1)时,纳米线分布密度为1000~16000根/mm2,更优选为8000根/mm2。
3.根据权利要求1或2所述的探测器,其特征在于,所述Ni-NiO纳米线直径为5~500nm,长度为10~500μm,优选直径为250nm,长度为50μm。
4.根据权利要求1或2所述的探测器,其特征在于,所述探测器还包括连接于第一电极引线(5)和第二电极引线(6)之间的放大电路或电压测试设备,优选所述电压测试设备为电压放大器或示波器。
5.根据权利要求1或2所述的探测器,其特征在于,所述探测器还包括连接于第一电极引线和第二电极引线之间的电阻(7)和/或电容(7’),优选所述电阻阻值为1Ω~1MΩ,所述电容容量为1pF~500μF;更优选所述电阻阻值为1MΩ,所述电容容量为500μF。
6.权利要求1~5任意一项所述纳米线紫外光探测器的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:
(1)纳米线的生长:用模板制备纳米线,去除未与基底层相接触的模板,氧化处理,得到Ni-NiO纳米线阵列;
(2)将制备好的Ni-NiO纳米线阵列切割,设置第一电极和第二电极,以及分别和第一电极、第二电极连接的第一电极引线和第二电极引线。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,步骤(1)制备纳米线是用刻蚀法、凝胶溶胶法、水热法或直流电泳法制备,优选用直流电泳法。
8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,步骤(1)中是利用氧化铝模板的直流电泳方法制备纳米线,模板孔径为250nm,孔间隔为70nm;所述氧化处理条件为:压强为0.01~0.02Mpa,氧化温度为400℃,氧化时间为8小时,升温降温速率均为10℃/min。
9.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述固定为用银胶结,第一电极引线和第二电极引线用银胶结在第一电极和第二电极上。
10.一种测量连续紫外光或者脉冲紫外光的强度的方法,其中是应用权利要求1~5任一项所述的纳米线紫外光探测器进行测量。
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