[发明专利]覆晶LED芯片的制作方法有效
申请号: | 201310359573.9 | 申请日: | 2013-08-16 |
公开(公告)号: | CN104377276B | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 吴裕朝;吴冠伟;刘艳;张诒安 | 申请(专利权)人: | 刘艳 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京格罗巴尔知识产权代理事务所(普通合伙)11406 | 代理人: | 方志炜 |
地址: | 523909 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 覆晶 led 芯片 制作方法 | ||
1.一种覆晶LED芯片的制作方法,其特征在于,包括:
对蓝宝石基板的出光面进行粗糙化处理或图案化处理,以在所述出光面上形成特定的图案;
在所述出光面上形成至少一层光学薄膜;
在所述蓝宝石基板的外延面上形成至少两个覆晶LED芯片;
沿相邻的所述覆晶LED芯片的分界线,在所述覆晶LED芯片的正面对所述光学薄膜进行划切;以及
沿所述分界线对所述蓝宝石基板进行劈裂,以使所述相邻的覆晶LED芯片分离,
其中,所述特定的图案为沟渠状、网格状、同心圆状、蜂窝状、连续的米字形状、连续的圆柱体状、连续的圆锥状、连续的角锥状、连续的凸球状中的任意一种或多种。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,在蓝宝石基板的出光面上形成至少一层光学薄膜之前,还包括:
沿要形成的相邻的所述覆晶LED芯片的分界线,对所述出光面进行划切,以在所述出光面上形成凹槽。
3.一种覆晶LED芯片的制作方法,其特征在于,包括:
沿要形成的相邻的覆晶LED芯片的分界线,在所述覆晶LED芯片的正面对蓝宝石基板的出光面进行划切,以在所述出光面上形成凹槽;
对所述出光面进行粗糙化处理或图案化处理,以在所述出光面上形成特定的图案;
在所述出光面上形成至少一层光学薄膜;
在所述蓝宝石基板的外延面上形成至少两个覆晶LED芯片;以及
沿所述分界线,对所述蓝宝石基板进行劈裂,以使所述相邻的覆晶LED芯片分离,
其中,所述特定的图案为沟渠状、网格状、同心圆状、蜂窝状、连续的米字形状、连续的圆柱体状、连续的圆锥状、连续的角锥状、连续的凸球状中的任意一种或多种。
4.根据权利要求1或3所述的制作方法,其特征在于,所述粗糙化处理包括:
以高压喷砂方式使所述出光面形成粗化状态。
5.根据权利要求1或3所述的制作方法,其特征在于,所述图案化处理包括:
在所述出光面上进行激光雕刻,以在所述出光面上直接雕刻出所述特定的图案。
6.根据权利要求1或3所述的制作方法,其特征在于,所述图案化处理包括:
利用二氧化硅形成掩模;
在所述出光面上暴露所述特定的图案;以及
基于所述掩模对所述出光面进行蚀刻,从而形成所述特定的图案。
7.根据权利要求1或3所述的制作方法,其特征在于,所述图案化处理包括:
利用二氧化硅在所述出光面上形成保护层;
利用光阻抗蚀剂在所述保护层上暴露所述特定的图案;以及
基于掩模对所述保护层进行蚀刻,从而形成所述特定的图案。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的制作方法,其特征在于,所述光学薄膜的折射率小于所述蓝宝石基板的折射率,并且大于空气或将要涂覆于所述光学薄膜上的透明胶的折射率。
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