[发明专利]覆晶LED芯片的制作方法有效

专利信息
申请号: 201310359573.9 申请日: 2013-08-16
公开(公告)号: CN104377276B 公开(公告)日: 2018-04-27
发明(设计)人: 吴裕朝;吴冠伟;刘艳;张诒安 申请(专利权)人: 刘艳
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00
代理公司: 北京格罗巴尔知识产权代理事务所(普通合伙)11406 代理人: 方志炜
地址: 523909 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 覆晶 led 芯片 制作方法
【权利要求书】:

1.一种覆晶LED芯片的制作方法,其特征在于,包括:

对蓝宝石基板的出光面进行粗糙化处理或图案化处理,以在所述出光面上形成特定的图案;

在所述出光面上形成至少一层光学薄膜;

在所述蓝宝石基板的外延面上形成至少两个覆晶LED芯片;

沿相邻的所述覆晶LED芯片的分界线,在所述覆晶LED芯片的正面对所述光学薄膜进行划切;以及

沿所述分界线对所述蓝宝石基板进行劈裂,以使所述相邻的覆晶LED芯片分离,

其中,所述特定的图案为沟渠状、网格状、同心圆状、蜂窝状、连续的米字形状、连续的圆柱体状、连续的圆锥状、连续的角锥状、连续的凸球状中的任意一种或多种。

2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,在蓝宝石基板的出光面上形成至少一层光学薄膜之前,还包括:

沿要形成的相邻的所述覆晶LED芯片的分界线,对所述出光面进行划切,以在所述出光面上形成凹槽。

3.一种覆晶LED芯片的制作方法,其特征在于,包括:

沿要形成的相邻的覆晶LED芯片的分界线,在所述覆晶LED芯片的正面对蓝宝石基板的出光面进行划切,以在所述出光面上形成凹槽;

对所述出光面进行粗糙化处理或图案化处理,以在所述出光面上形成特定的图案;

在所述出光面上形成至少一层光学薄膜;

在所述蓝宝石基板的外延面上形成至少两个覆晶LED芯片;以及

沿所述分界线,对所述蓝宝石基板进行劈裂,以使所述相邻的覆晶LED芯片分离,

其中,所述特定的图案为沟渠状、网格状、同心圆状、蜂窝状、连续的米字形状、连续的圆柱体状、连续的圆锥状、连续的角锥状、连续的凸球状中的任意一种或多种。

4.根据权利要求1或3所述的制作方法,其特征在于,所述粗糙化处理包括:

以高压喷砂方式使所述出光面形成粗化状态。

5.根据权利要求1或3所述的制作方法,其特征在于,所述图案化处理包括:

在所述出光面上进行激光雕刻,以在所述出光面上直接雕刻出所述特定的图案。

6.根据权利要求1或3所述的制作方法,其特征在于,所述图案化处理包括:

利用二氧化硅形成掩模;

在所述出光面上暴露所述特定的图案;以及

基于所述掩模对所述出光面进行蚀刻,从而形成所述特定的图案。

7.根据权利要求1或3所述的制作方法,其特征在于,所述图案化处理包括:

利用二氧化硅在所述出光面上形成保护层;

利用光阻抗蚀剂在所述保护层上暴露所述特定的图案;以及

基于掩模对所述保护层进行蚀刻,从而形成所述特定的图案。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的制作方法,其特征在于,所述光学薄膜的折射率小于所述蓝宝石基板的折射率,并且大于空气或将要涂覆于所述光学薄膜上的透明胶的折射率。

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