[发明专利]检查装置及检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于检查被测定物的电气特性的检查装置及检查方法。

背景技术

存在使探针接触加热的被测定物来检查被测定物的电气特性的情况。一般探针固定于绝缘基板。在专利文献1中，公开了使探针基板（绝缘基板）的温度变化跟踪被测定物的温度变化的技术。该技术直接加热绝缘基板而将其设为期望的温度。在专利文献2中，公开了向检查装置内供给温度经调整的气体流，将绝缘基板设为期望温度的技术。

现有技术文献

专利文献

[专利文献1]日本专利公开第2012－47503号公报；

[专利文献2]日本专利公表第2012－503304号公报。

在专利文献1所公开的技术中，存在由于加热绝缘基板因而绝缘基板发生膨胀、翘曲等的情况。存在由于绝缘基板的膨胀、翘曲等，固定于绝缘基板的探针的位置发生变化，所以无法用期望压力使探针与被测定物的期望位置相接触的问题。另外，存在热量从加热的被测定物经由探针传递到绝缘基板，绝缘基板发生膨胀、翘曲等问题。

依据专利文献2所公开的技术，能将绝缘基板的温度保持在例如室温左右。然而，存在为供给温度经调整的气体流，需要复杂的装置、较大的电力消耗等的问题。

发明内容

本发明为了解决上述那样的课题而作出，以提供能够容易地抑制绝缘基板的膨胀、翘曲等的检查装置及检查方法为目的。

本发明所涉及的检查装置，其特征在于，具备：绝缘基板；探针，具有固定于该绝缘基板的主体部、与该主体部的一端连接且配置于该绝缘基板的背面侧的前端部、和与该主体部的另一端连接且配置于该绝缘基板的表面侧的连接部；以及散热端子，与该连接部相接触，其中，电流经由该散热端子及该探针流向被测定物，该散热端子散发来自该探针的热量。

本发明所涉及的检查方法，其特征在于，具备：第1准备工序，对于具有固定于绝缘基板的主体部、与该主体部的一端连接且配置于该绝缘基板的背面侧的前端部、和与该主体部的另一端连接且配置于该绝缘基板的表面侧的连接部的探针，使该探针的该前端部与第1被测定物相接触，使散热端子与该连接部相接触；第1检查工序，在该第1准备工序之后，一边加热该第1被测定物，一边使电流经由该探针及该散热端子流入该第1被测定物来检查该第1被测定物的电气特性；分离工序，在该检查工序之后，将该前端部从该第1被测定物离开，并且将该散热端子从该连接部离开而冷却该散热端子；第2准备工序，在该分离工序之后，使该前端部与该第1被测定物或第2被测定物相接触，使该散热端子与该连接部相接触；第2检查工序，在该第2准备工序之后，一边加热该第1被测定物或该第2被测定物，一边使电流经由该探针及该散热端子流入该第1被测定物或该第2被测定物来检查该第1被测定物或该第2被测定物的电气特性。

发明效果

依据本发明，在用于检查的电流路径上设有与探针相接触的散热端子，所以能容易地抑制绝缘基板的膨胀、翘曲等。

附图说明

图1是示出本发明的实施方式1所涉及的检查装置的正视图；

图2是示出散热端子和电流传输部的立体图；

图3是第1臂部的立体图；

图4是示出第1准备工序中的第1臂部和第2臂部的动作的正视图；

图5是示出分离工序中的第1臂部和第2臂部的动作的正视图；

图6是示出本发明的实施方式1的散热端子的变形例的立体图；

图7是示出本发明的实施方式1的散热端子的其他变形例的截面图；

图8是示出在实施方式2所涉及的检查方法中，更换散热端子的正视图；

图9是示出本发明的实施方式2所涉及的检查装置的变形例的立体图；

图10是本发明的实施方式3所涉及的绝缘基板和探针的仰视图；

图11是本发明的实施方式3所涉及的散热端子及绝缘基板等的平面图；

图12是本发明的实施方式3所涉及的散热端子的立体图。

具体实施方式

实施方式1．

图1是示出本发明的实施方式1所涉及的检查装置的正视图。检查装置具备用例如陶瓷、玻璃环氧等形成的绝缘基板10。在绝缘基板10上用例如铆接等的手段固定有管套12。探针14嵌合于管套12，以贯通绝缘基板10。