[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及在组件（模块）间搬送基板进行处理的基板处理装置、基板处理方法和存储有用于执行上述基板处理方法的程序的存储介质。

背景技术

在例如半导体器件的制造工艺中，在例如涂布、显影装置等的基板处理装置内设置多个对半导体晶片（以下简记为“晶片”）进行处理的处理组件，利用称为搬送臂的基板搬送机构在这些处理组件间依次搬送晶片，由此进行规定的处理。晶片由设置于上述搬送臂的保持部保持并被搬送。

但是，由于在规定的组件发生故障，或者搬送臂自身发生故障，存在晶片以相对于上述保持部的预先设定的基准位置偏移的状态被保持的情况。如果这些故障逐渐变大，基准位置与实际被保持的晶片的位置的偏移量增加，在搬送中发生异常，则涂布、显影装置对用户显示警告，该装置内的搬送被停止。但是，如上所述，晶片相对基准位置偏移地被保持的情况，因为导致晶片不能交接（移交）至组件的适当的位置，所以存在直至装置停止持续晶片不被组件正常地处理的状态，晶片持续地被不良处理的问题。

另外，在涂布、显影装置中停止搬送的情况下，导致能够正常工作的组件的处理也停止，或者，即使在通过轻微的校正就能够使搬送臂正常工作的情况下，也使该搬送臂的动作停止。由此，存在涂布、显影装置的工作率降低，生产率降低的问题。

例如，在专利文献1中记载有，基于上述检测出的晶片的周边部的位置，对组件的相互间的晶片的搬送量进行校正，来消除在上述组件的晶片的位置偏移。另外，在专利文献2中记载有如下控制，根据检测出的周边部的位置求出晶片的中心位置，基于该中心位置与预先确定的基准位置的偏移量，使搬送臂部能够将晶片搬运到搬送目标位置。但是，在专利文献1、2的各装置中，并未考虑上述问题，不能解决该问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开8－31905号公报

专利文献2：日本特开2006－351884号公报

发明内容

发明想要解决的问题

本发明是鉴于上述的课题而完成的，其目的在于，提供一种能够在组件或向各组件搬送基板的基板搬送机构中的任一个发生故障的情况下防止对基板继续进行不良的处理的技术。

用于解决课题的方法

本发明的基板处理装置的特征在于：其是在组件间交接基板进行处理的基板处理装置，

上述基板处理装置具备：

基板搬送机构，其具备在横向上能够自由移动的基板保持部，用于保持基板并进行上述交接；

多个接受目标组件，上述基板保持部在上述多个接受目标组件接受基板；

传感器部，其对由上述基板保持部保持的基板的保持位置与在该基板保持部预先设定的基板的基准位置的偏移量进行检测；

存储部，其将在从各接受目标组件接受基板时检测出的上述偏移量，按每个所述接受目标组件以时间序列进行存储；和

推定部，其基于在上述存储部存储的各接受目标组件的上述偏移量的时间序列数据，推定在各接受目标组件中的任一个或上述基板搬送机构是否发生故障。

另外，本发明的其它的基板处理装置的特征在于：其是在组件间交接基板进行处理的基板处理装置，

上述基板处理装置具备：

基板搬送机构，其具备在横向上能够自由移动的基板保持部，用于保持基板并进行上述交接；

多个接受目标组件，上述基板保持部从上述多个接受目标组件接受基板；

传感器部，其对由上述基板保持部保持的基板的保持位置与在该基板保持部预先设定的基板的基准位置的偏移量进行检测；

存储部，其以将各接受目标组件与在从各接受目标组件接受基板时检测出的上述偏移量建立相关的方式存储该偏移量；和

显示部，其将存储于上述存储部的偏移量按每个接受目标组件进行显示。

本发明的具体方式例如为如下所述的方式。

（a）上述基板处理装置设置有控制单元，上述控制单元基于上述推定部的推定结果输出控制信号以控制上述基板搬送机构的动作。

（b）当由上述推定部推定出在基板搬送机构发生故障时，上述控制单元根据存储于上述存储部的偏移量，将上述基板保持部从各接受目标组件接受基板时的该基板保持部的位置从预先设定的第一位置向第二位置变更。