[发明专利]一种用于阵列基板的测试结构及其制造方法有效
申请号: | 201310047567.X | 申请日: | 2013-02-06 |
公开(公告)号: | CN103926761B | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 梁艳峰 | 申请(专利权)人: | 上海中航光电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/13;H01L23/544 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201108 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试结构 薄膜晶体管 阵列基板 测试线 线段 显示区域 数据线 数据线电连接 测试 彼此分离 静电击伤 静电积累 外围区域 导通 漏极 线电 源极 制造 | ||
本发明公开了一种测试结构及其制造方法,该测试结构包括薄膜晶体管,设置在所述阵列基板的外围区域中;在所述阵列基板的显示区域中设置有数据线,所述薄膜晶体管的源极或漏极与所述显示区域中的数据线电连接;栅极测试线,作为所述薄膜晶体管的栅极,且包括多个彼此分离的栅极测试线段;所述栅极测试线段通过导通线电连接在一起。该测试结构能够消除栅极测试线中的静电积累,防止栅极测试线与数据线之间的静电击伤,并且不增加工艺的复杂性。
技术领域
本发明涉及液晶显示技术领域,尤其涉及一种用于阵列基板的测试结构及其制造方法。
背景技术
目前,液晶显示器以高清晰度、真彩视频显示、外观轻薄、耗电量少、无辐射等优点而逐渐成为显示设备发展的主流。液晶显示器通常包括用于显示画面的液晶显示面板和用于向液晶显示面板提供信号的电路部分。液晶显示面板又通常包括彩膜基板和阵列基板,它们通过框胶彼此粘接并由间隙隔开,而液晶材料注入到彩膜基板和阵列基板之间的空隙中。
阵列基板是在透明玻璃基板设置栅线、栅绝缘层、有源层、源电极、漏电极、数据线、钝化层及像素电极而构成的层状结构,被区分为显示区域和位于所述显示区域外围的外围区域,外围区域上虽然也设有栅线、数据线及像素电极等,但是通过彩膜基板黑矩阵的遮挡,因此液晶显示器在外围区域不会有影像显示。目前,针对液晶面板的测试主要集中在整体品质的测试,如亮度、对比度或色饱和度等外部光学特性的测试。由于液晶面板制作完成后,阵列基板上的像素和电路部分均被封装在内部,无法直接接触和测量例如栅极、像素电极极公共电极线的信号等液晶面板内部电学特性。因此,现有技术在进行液晶面板测试中,通常采用拆分液晶面板并测试待测元件的电阻、线宽等方法。实际上,这种方法无法分析液晶面板的实际工作情况,不仅对分析造成很大困难和滞后,而且液晶面板拆分后不能工作,因此不是真正意义上实时信号测试。
在这些改进的技术中,提出了在阵列基板的外围区域中形成测试线的技术方案,如公开号为CN101770122A的中国专利提出了一种TFT-LCD阵列基板及测试方法,在阵列基板的外围区域形成测试线,在正常工作室,测试线与待测元件(栅线、数据线、像素电极或公共电极线)之间处于绝缘状态,因此不会影响正常工作;在需要测试时,采用激光焊接方法建立测试线与待测元件之间的连接即可实现对液晶面板各待测元件上的信号进行测试。该方法仍然给测试带来很大不便。
更为改进的技术是在阵列基板的外围区域中形成栅极测试线,在栅极测试线上形成薄膜晶体管,如附图1所示,在阵列基板的外围区域形成栅极测试线1,栅极测试线上形成薄膜晶体管的源极2和漏极3,以及沟道层4。薄膜晶体管的漏极3与显示区域中的数据线电连接。测试时,栅极测试线1控制所述薄膜晶体管的开关导通,从所述薄膜晶体管的源极2输入测试信号,该测试信号从所述薄膜晶体管的漏极3输送到所述数据线,从而在显示区域中可以显示测试画面。
采用这种方式对阵列基板上的待测元件进行测试,工艺简便,测试效果好,但这种方式存在缺点,在测试结构的制造过程中,常会产生较大的静电,测试结构通常形成在玻璃基板上,这些静电能够在玻璃上聚集,对测试结构产生静电损害。尤其栅极测试线1为大面积金属,薄膜晶体管的源漏极也是由金属组成,会积聚静电,在像素电极的制成前,就经常在源漏极与栅极测试线交叠的边缘处5发生静电击伤,进而造成面板显示不良。
发明内容
本发明的目的在于提出一种用于阵列基板的测试结构及其制造方法,消除栅极测试线中的静电积聚,防止发生静电击伤,提高产品的良率。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
一种用于阵列基板的测试结构,其特征在于,包括薄膜晶体管,设置在所述阵列基板的外围区域中;在所述阵列基板的显示区域中设置有数据线,所述薄膜晶体管的源极或漏极与所述显示区域中的数据线电连接;栅极测试线,作为所述薄膜晶体管的栅极,且包括多个彼此分离的栅极测试线段;所述栅极测试线段通过导通线电连接在一起。
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