[发明专利]在半导体装置的制造中用于细线条高纵横比丝网印刷的导电浆料

权利要求书

1.厚膜导电浆料，包含：

a)一种或多种导电粉末；

b)一种或多种玻璃料；和

c)包含溶剂和纤维素酯树脂的有机介质，其中所述一种或多种导

电粉末和所述一种或多种玻璃料分散在所述有机介质中。

2.根据权利要求1所述的厚膜导电浆料，所述一种或多种导电粉末包括银粉，所述银粉具有球状颗粒，5-6的振实密度，0.3-0.6m²/gm表面积的Ag，以及d₁₀为1.0-1.5μm，d₅₀为1.5-2.3μm和d₉₀为2.5-3.5μm的粒度分布，所述溶剂选自二乙二醇正丁醚醋酸酯、二乙二醇单丁醚、2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯以及它们的混合物，并且所述纤维素酯树脂选自乙酸丙酸纤维素、乙酸丁酸纤维素、以及它们的混合物。

3.根据权利要求9所述的厚膜导电浆料，其中所述溶剂为二乙二醇正丁醚醋酸酯，并且其中所述玻璃料为Pb-Te-O。

4.根据权利要求9所述的厚膜导电浆料，还包含分散在所述有机介质中的酰胺触变胶。

5.包括由厚膜导电浆料形成的电极的半导体装置，所述厚膜导电浆料包含：

a)一种或多种导电粉末；

b)一种或多种玻璃料；和

c)包含溶剂和纤维素酯树脂的有机介质，其中所述一种或多种导

电粉末和所述一种或多种玻璃料分散在所述有机介质中，其中所述厚膜导电浆料经过焙烧以除去所述有机介质并形成所述电极。

6.根据权利要求5所述的半导体装置，所述一种或多种导电粉末包括银粉，所述银粉具有球状颗粒，5-6的振实密度，0.3-0.6m²/gm表面积的Ag，以及d₁₀为1.0-1.5μm，d₅₀为1.5-2.3μm和d₉₀为2.5-3.5μm的粒度分布，所述溶剂选自二乙二醇正丁醚醋酸酯、二乙二醇单丁醚、2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯以及它们的混合物，并且所述纤维素酯树脂选自乙酸丙酸纤维素、乙酸丁酸纤维素、以及它们的混合物。

7.根据权利要求5所述的太阳能电池形式的半导体装置，其中所述太阳能电池具有前侧面，即光照面，和背侧面，并且其中所述电极为所述太阳能电池的所述前侧面上的电极。