[发明专利]物品保管设备及物品保管方法

说明书

技术领域

本发明涉及物品保管设备以及使用了这样的物品保管设备的物品保管方法，所述物品保管设备包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，向收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部供给惰性气体；以及控制装置，控制所述搬运装置的动作和所述惰性气体供给部的流量调节装置的动作。

背景技术

作为上述的物品保管设备的一例，已知如下所述的带净化功能的包括物品保管架的物品保管设备。该物品保管架具有多个收纳部，该多个收纳部收纳用于容纳半导体晶片的FOUP等搬运容器，在各收纳部具有供给喷嘴，该供给喷嘴作为向搬运容器的内部供给例如氮气或氩气等惰性气体的惰性气体供给部，以便防止容纳在搬运容器内部的半导体晶片的污损。

在日本特开2010-16199号公报（专利文献1）中公开了这样的物品保管设备的一例，在该物品保管设备中，在搬运容器收纳于收纳部时和没有收纳于收纳部时，改变从供给喷嘴排出的惰性气体的流量，使搬运容器没有收纳于收纳部时的惰性气体的流量比搬运容器收纳于收纳部时的流量小。

上述专利文献1的物品保管架具有多个收纳搬运容器的收纳部，在各收纳部设置有检测搬运容器的有无的检测装置。并且构成为，在由检测装置检测到在收纳部收纳有搬运容器的情况下，向搬运容器内供给足以防止容纳于其内部的半导体晶片的污损的流量（称为第一流量）的惰性气体。并且构成为，在检测到搬运容器没有收纳于收纳部的情况下，为了防止杂质微粒蓄积于上述供给喷嘴，而从供给喷嘴排出设定成比上述第一流量小的值的流量（称为第二流量）的惰性气体。

这样的流量的切换通过流量调节装置来进行。流量调节装置构成为，将惰性气体的供给流量调节为由控制装置指示的目标流量。

在上述专利文献1中，当在物品保管架同时期地收纳有多个搬运容器的情况下，为了对所收纳的所有搬运容器供给第一流量的惰性气体，而从控制装置对各流量调节装置指示目标流量。但是，当对收纳于物品保管架的所有搬运容器供给第一流量的惰性气体所需的流量超过了能够从供给源（例如氮气等的储气瓶）供给的惰性气体的流量时，能够供给到各个搬运容器的惰性气体的流量无法满足作为目标流量的第一流量。因此，即使作为目标流量而指示了第一流量，流量调节装置也无法将惰性气体的供给流量调节至所述目标流量，存在从惰性气体供给部只能供给低于目标流量的流量的惰性气体的不良情况。

有时在流量调节装置具有在陷入了实际供给的流量低于目标流量的状态持续了设定时间的状态时输出错误的功能。在使用具有这样的功能的流量调节装置的情况下，如上所述，当能够供给到各个搬运容器的惰性气体的流量不足作为目标流量的第一流量的状态持续了设定时间时，输出错误，因此可能无法使设备正常地运转。

发明内容

鉴于上述背景，期望实现即使在从惰性气体的供给源向多个搬运容器供给惰性气体的情况下也能使设备正常地运转的物品保管设备。

本发明的物品保管设备包括：

多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；

搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；

惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；

控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作；以及

供给源，该供给源对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，

这里，所述物品保管设备设定了从所述供给源对所述一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量，

所述控制装置构成为，能够将所述一组惰性气体供给部各自的控制状态在第一供给状态和第二供给状态之间切换，所述第一供给状态是使所述流量调节装置动作以便对收纳于所述收纳部的所述搬运容器以第一目标流量供给所述惰性气体的状态，所述第二供给状态是使所述流量调节装置动作以便对收纳于所述收纳部的所述搬运容器以比所述第一目标流量小的第二目标流量供给所述惰性气体的状态，

根据所述最大容许流量、所述第一目标流量以及所述第二目标流量确定的能够同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部的最大数为同时供给最大数，