[发明专利]用于OLED的透明阳极

权利要求书

1.用于有机电致发光二极管(OLED)的透明电极，其在由无机玻璃制成的透明载体上包含n个单元薄层堆叠体，每个单元堆叠体依次包含，从该玻璃载体开始：

-混合氧化锌锡(SnZnO)层，氧化锌(ZnO)结晶层，其任选地是掺杂的，优选用铝和/或用镓掺杂，和

-银金属层，其与ZnO层接触，

该电极特征在于在每个银层和与其最靠近的一个或多个SnZnO层之间设置了氮化硅(Si₃N₄)层或二氧化硅(SiO₂)层。

2.根据权利要求1的电极，特征在于n是1至4，优选2至3的整数，特别地等于2。

3.根据前述权利要求任一项的电极，特征在于每个Si₃N₄或SiO₂层的厚度为1至10nm，优选2至9nm，特别地3至8nm。

4.根据前述权利要求任一项的电极，特征在于至少一个单元堆叠体，优选每个单元堆叠体，在银金属层上方，优选与该银金属层接触地，还包含牺牲层，该牺牲层包含选自钛、镍、铬、铌或它们的混合物的金属。

5.根据前述权利要求任一项的电极，特征在于该电极包括至少两个银金属层，和特征在于，仅仅在最后银金属层上方，优选与该银金属层接触地，布置了包含选自钛、镍、铬、铌或它们的混合物的金属的牺牲层。

6.根据前述权利要求任一项的电极，特征在于该电极还包含在该最后银层，尤其第n个堆叠体的银层的上方设置的透明导电氧化物(TCO)层，优选锡掺杂的氧化铟(ITO)层。

7.根据前述权利要求任一项的电极，特征在于每个SiO₂或Si₃N₄层，在一侧上与ZnO层，优选用铝掺杂的ZnO层接触，在另一侧上与SnZnO层接触。

8.根据前述权利要求任一项的电极，特征在于当n为至少等于2时，它还在一个堆叠体的最后层和随后的堆叠体的第一层之间依次包含：

-ZnO层，优选是掺杂的，优选用铝或镓掺杂，优选具有小于20nm甚至小于10nm的厚度；和

-SiO₂或Si₃N₄层，优选具有1至10nm，优选2至9nm，特别地3至8nm的厚度。

9.根据权利要求1-6任一项的电极，特征在于它包含至少两个银金属层，和特征在于n等于1和包含SiO₂或Si₃N₄/SnZnO/SiO₂或Si₃N₄/ZnO/Ag的单元堆叠体位于银层的上方，该银层是从玻璃载体开始的第一银层，和优选在第一银层下方布置多层，该多层选自以下SnZnO/SiO₂或Si₃N₄/ZnO，或Nb₂O₅或TiO₂/SiO₂或Si₃N₄层/ZnO。

10.根据权利要求1-6任一项的电极，特征在于它包含至少两个银金属层，和特征在于n等于1和该单元堆叠体包含SnZnO/SiO₂或Si₃N₄/ZnO/Ag，其中Ag是从该玻璃载体开始的第一银层，优选在第一银层和第二银层之间，该电极包含下列多层：牺牲层，优选Ti层/ ZnO层。

11.根据前述权利要求任一项的电极，特征在于该被设置在每个银层和每个最靠近该银层的SnZnO层之间的层为二氧化硅(SiO₂)层或者被设置在每个银层和每个最靠近所述银层的SnZnO层之间的层为氮化硅(Si₃N₄)层。

12.具有有机电致发光二极管(OLED)的光电装置，其包含至少一个根据前述权利要求任一项的电极。

13.根据前一权利要求的装置，特征在于该电极是OLED的阳极。