[发明专利]焊锡焊盘形成方法以及装置

权利要求书

1.一种焊锡焊盘形成方法，其特征在于，具备如下步骤：

将上表面要形成焊锡焊盘的结构要素向作业台上运入的步骤，该结构要素在其上表面配置有掩模，该掩模在与要形成焊盘的位置相对应的位置具有开口；

通过第1加热器单元对前述结构要素进行预加热的步骤；

使注入头降低，与配置在前述结构要素上的前述掩模的上表面接触的步骤，注入头构成为能够从下部的喷嘴供给注入头内部收容的熔融焊锡；

使第2加热器单元的上表面与前述结构要素的下表面接触，将已预加热的前述结构要素加热到其作业温度的步骤；

通过第3加热器单元，将前述注入头内的焊锡加热到其作业温度的步骤；

前述注入头通过在前述掩模上滑动时，将提高到作业温度的熔融焊锡从前述喷嘴排出而向前述掩模的前述开口内流动，并且刮取前述掩模上表面的剩余熔融焊锡，向前述掩模的前述开口内填充熔融焊锡，以此向前述结构要素上供给规定量的熔融焊锡的步骤；

在前述注入头进行的熔融焊锡的供给结束后，使前述第2加热器单元以及第3加热器单元的工作停止的步骤；

使第1冷却用单元的上表面与已停止了工作的前述第2加热器单元的下表面接触，通过从前述第1冷却用单元经由前述第2加热器单元、前述结构要素以及前述掩模的导热，强制地对前述注入头进行冷却，使该注入头内部的熔融焊锡的温度降低到熔融焊锡不从前述喷嘴垂落的温度的步骤；

在前述注入头内部的熔融焊锡的温度降低到熔融焊锡不从前述喷嘴垂落的温度后，使前述注入头上升而离开前述掩模的步骤；

通过第2冷却用单元强制地对供给到前述结构要素上的熔融焊锡进行冷却，使焊盘固化的步骤；

将上表面形成了焊盘的前述结构要素从前述作业台上运出的步骤。

2.如权利要求1所述的焊锡焊盘形成方法，其特征在于，

前述作业台能够循环地在第1至第4索引位置之间移动，

将前述结构要素向前述作业台上运入的步骤在第1索引位置进行，

对前述结构要素进行预加热的步骤在第2索引位置进行，

使前述注入头与前述掩模的上表面接触的步骤、将前述结构要素加热到其作业温度的步骤、将前述注入头内的焊锡加热到其作业温度的步骤、将前述注入头内的熔融焊锡向前述结构要素上供给的步骤、使前述第2加热器单元和第3加热器单元的工作停止的步骤、对前述注入头进行冷却而使该注入头内部的熔融焊锡的温度降低的步骤、以及使前述注入头上升而离开前述掩模的步骤在第3索引位置进行，

对前述结构要素上的熔融焊锡进行冷却，使焊盘固化的步骤在第4索引位置进行，

将上表面形成了焊盘的前述结构要素从前述作业台上运出的步骤在第1索引位置进行。

3.如权利要求2所述的焊锡焊盘形成方法，其特征在于，

前述掩模是金属制或者树脂制的薄片部件。

4.如权利要求2所述的焊锡焊盘形成方法，其特征在于，

前述掩模是抗蚀剂膜。

5.如权利要求2所述的焊锡焊盘形成方法，其特征在于，

对前述注入头进行冷却而使该注入头内部的熔融焊锡的温度降低的步骤包含向前述注入头吹喷惰性气体。

6.一种焊锡焊盘形成装置，其特征在于，具备：

作业台，用于放置上表面要形成焊锡焊盘的结构要素，该结构要素在其上表面配置有掩模，该掩模在与要形成焊盘的位置相对应的位置具有开口；

加热器单元，用于直接或者间接地与前述结构要素的下表面接触，对前述结构要素进行加热；

注入头，是内部能够收容熔融焊锡，并且下部具有喷嘴的注入头，通过使前述喷嘴保持与前述结构要素上的前述掩模的上表面相接触地水平移动，使从前述喷嘴排出的熔融焊锡向前述掩模的前述开口内填充，以此向前述结构要素上供给规定量的熔融焊锡；

第1冷却用单元，配置在前述加热器单元的下方并能够上下移动，是能够有选择地与工作停止后的前述加热器单元的下表面接触的第1冷却用单元，在与工作停止后的前述加热器单元的下表面接触时，能够经由该加热器单元、被供给了熔融焊锡的前述结构要素、以及前述掩模强制地对前述注入头进行冷却。