[发明专利]低多变性机器人

说明书

技术领域

示例性和非限制性实施例一般涉及机器人，更具体地说，涉及用于移动衬底的机器人。

背景技术

常规的用于半导体集成电路和平板显示器的制造技术通常包括硅晶片和玻璃面板(通常被称为衬底)在全自动真空群集工具中的处理。通常的群集工具可以包括圆形的真空腔室，具有装载锁和以星形图案径向连接到腔室的周围的过程模块。该工具通常是由机器人操纵器(机器人)服务的，该机器人操纵器位于靠近腔室的中心并且从装载锁通过过程模块并返回装载锁而轮转这些衬底。另一个机器人可以位于用作真空腔室的装载锁与由外部输送系统所服务的标准化装载端口之间的界面的大气传输模块。

发明内容

下面的发明内容仅仅旨在是示例性的。本发明内容并不意在限制权利要求的范围。

根据一个方面，一种示例设备包括：包括至少三个构件的框架,该框架包括形成可动臂和末端效应器的至少两个连杆，其中所述端部效应器和连杆由可动关节连接，其中末端效应器被配置成支撑在其上的基板；在框架上的第一位置传感器靠近关节中的第一个关节，其中第一位置传感器被配置成感应两个构件相对于彼此的位置；连接到框架的驱动器，其中驱动器被配置为移动可动臂；以及腔室，其中框架位于腔室中并且驱动器延伸穿过腔室的壁。

根据另一个方面，一种示例设备包括电气装置；在其上具有电气装置的框架，其中框架包括至少三个构件，该至少三个构件包括形成可动臂和末端效应器的至少两个连杆，其中端部效应器和连杆通过可动关节被连接，其中端部效应器被配置成连接支撑在其上的衬底；连接到可动臂的驱动器，其中该驱动器被配置成移动可动臂；以及在驱动器的热传递系统，其中热传递系统被配置成将热从可动臂传递到从可动臂隔开的距离。

根据另一个方面，一种示例设备包括：包括至少三个构件的框架，该至少三个构件包括形成可动臂和末端效应器的至少两个连杆，其中端部效应器和连杆由可动关节连接，其中末端效应器被配置成支持在其上的衬底；在框架上的第一位置传感器靠近关节的第一个关节，其中第一位置传感器被配置成感应两个构件相对于彼此的位置；以及连接到第一位置传感器的通信链路，其中通信链路被配置成向从可动臂通过气密外壳隔开的装置发送信号。

附图说明

上述方面和其它特征在以下描述中结合附图进行说明，其中：

图1是衬底处理设备的示意图；

图2是图1所示的衬底处理设备的衬底输送设备的顶视图；

图3是图示了真空兼容模块和大气模块之间的屏障的示意图；

图4是通信/电源弯曲的透视图；

图5是另一通信/电源弯曲的透视图；

图6是冷却系统的透视图；

图7是图示了图2所示的设备的部件的示意图；

图8是图示了图2所示的设备的冷却系统的示意图；

图9是图示了图2所示的设备的部件的某些连接的示意图；

图10是图示了图2所示的设备的气密外壳的示意图；

图11是类似于图2的顶视图的图1所示的衬底处理设备的可替代衬底输送设备；

图12是类似于图2的顶视图的图1所示的衬底处理设备的另一种可替代衬底输送设备；

图13是类似于图2的顶视图的图1所示的衬底处理设备的另一种可替代衬底输送设备；

图14是类似于图2的顶视图的图1所示的衬底处理设备的另一种可替代衬底输送设备；

图15是图14的设备在真空腔室中的示意性顶视图；

图16A和图16B是不同类型的端部效应器的顶视图；

图16C是具有图16A的末端效应器的图2的臂在真空腔室中的示意性顶视图；

图17是示出图8的冷却系统被附接到图12的设备的示意性横截面图；

图18与图17相似的可替代示例性实施例的示意性横截面图；

图19是示例衬底输送设备的示意性顶视图；

图20是示例衬底输送设备的示意性顶视图；

图21是图19所示的设备沿线21-21所取的示意性横截面图；

图22是图19所示的设备沿线22-22所取的示意性横截面图；

图23-24是示例衬底输送设备的示意性顶视图；

图25是图23-24所示的设备的示意性横截面图；以及

图26-30是示例衬底处理设备的示意性顶视图。

具体实施方式