专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]衬底运输真空平台-CN201811372158.6有效
  • C·霍夫迈斯特;M·霍塞克 - 柿子技术公司
  • 2015-01-21 - 2020-10-30 - F16C32/04
  • 一种装置,包括:设备,被配置为将至少一个衬底支撑在其上;以及运输机,所述设备连接到所述运输机,其中所述运输机被配置为承载所述设备。所述运输机包括:第一支撑件,包括第一电容性接口;以及第二支撑件,包括第二电容性接口,其中所述第二支撑件沿线性路径可移动地连接到所述第一支撑件,并且其中所述第一电容性接口和所述第二电容性接口被确定大小、成形和相对于彼此定位以提供非接触式电容性功率耦合并且允许在所述第一电容性接口和所述第二电容性接口之间的热传递。
  • 衬底运输真空平台
  • [发明专利]衬底运输真空平台-CN201580005228.2有效
  • C·霍夫迈斯特;M·霍塞克 - 柿子技术公司
  • 2015-01-21 - 2020-06-23 - H01L21/677
  • 一种装置包括:第一设备,被配置为将至少一个衬底支撑在其上;以及第一运输机,该设备连接到第一运输机。运输机被配置为承载该设备。运输机包括:多个支撑件,其沿线性路径相对于彼此可移动;至少一个磁性轴承,其至少部分地将支撑件耦合到彼此。磁性轴承中的第一磁性轴承包括第一永磁体和第二磁体。第一永磁体连接到支撑件中的第一支撑件。磁场调节器连接到第一支撑件,磁场调节器被配置为相对于第二磁体移动第一永磁体和/或改变第一永磁体的磁场的影响。
  • 衬底运输真空平台
  • [发明专利]低多变性机器人-CN201280054326.1在审
  • M·霍塞克;T·哈;C·霍夫迈斯特 - 柿子技术公司
  • 2012-09-14 - 2014-07-09 - B25J9/06
  • 一种设备,包括框架、第一位置传感器、驱动器和腔室。该框架具有至少三个构件,该至少三个构件包括至少两个连杆,形成可动臂和末端效应器。末端效应器和连杆由可动关节连接。末端效应器被配置成支撑在其上的衬底。第一位置传感器在框架上靠近关节的第一个关节。第一位置传感器被配置成感应两个构件相对于彼此的位置。驱动器被连接到框架上。该驱动器被配置成移动该可动臂。框架位于腔室中,并且驱动器通过腔室中的壁延伸。
  • 多变机器人

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