[发明专利]经调适于电子装置制造中运输基板的机械手系统、设备与方法

说明书

相关申请

本申请案声明来自申请于2011年8月8日，编号No.13/205,116的美国非临时专利申请案“ROBOT SYSTEMS,APPARATUS,AND METHODS ADAPTED TO TRANSPORT SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING”（代理人案号No.16136USA）的优先权，所述非临时专利申请案在此因所有目的以参考文献方式整体并入本文。

领域

本发明涉及电子装置制造，更具体地说，涉及经调适以运输基板的系统、设备及方法。

背景

传统的电子装置制造系统可包括多个处理腔室及负载锁定腔室。此类腔室可被包括在群集工具中，举例来说，其中多个处理腔室可围绕传递腔室而置放。这些系统及工具可采用传递机械手，所述传递机械手可以被安放在所述传递腔室内，以在不同处理腔室及负载锁定之间运输基板。例如，所述传递机械手可将基板从腔室运输到腔室、从负载锁定运输到腔室、及（或）从腔室运输到负载锁定。在不同系统腔室之间有效率且精确的运输基板对系统产量会是重要的，由此降低整体操作成本。此外，我们追求缩小的系统大小，因为基板所需被移动的距离就减少，而材料成本也减少。

因此，我们需要改善的系统、设备及方法，以用于（例如）在传递腔室中有效且精确的基板移动。

发明内容

在一方面中，提供一种电子装置处理系统。所述系统包括腔室、机械手设备，所述机械手设备容纳在所述腔室中并经调适以运输基板，所述机械手设备包括吊杆连接装置、上臂连结外壳、前臂连结外壳、腕部构件及前臂驱动器构件，所述吊杆连接装置经调适以绕第一旋转轴旋转，所述上臂连结外壳于偏移所述第一旋转轴的第一径向位置处耦合至所述吊杆连接装置，所述上臂连结外壳经调适以绕位于所述第一径向位置的第二旋转轴旋转，所述前臂连结外壳于与所述第二旋转轴隔开的第二位置处耦合至所述上臂连结外壳，且所述前臂连结外壳经调适以相对于所述上臂连结外壳绕位于所述第二位置的第三旋转轴旋转，所述腕部构件经耦合至所述前臂连结外壳，且所述腕部构件经调适用于相对于所述前臂连结外壳绕第四旋转轴旋转，所述腕部构件经调适以耦合至终端受动器，其中所述终端受动器经调适以携带基板，所述前臂驱动器构件牢固地耦合至所述吊杆连接装置，且所述前臂驱动器构件具有前臂驱动元件，所述前臂驱动元件延伸穿过所述上臂连结外壳，所述前臂驱动元件经耦合至所述前臂连结外壳的被动构件。

在另一方面中，提供一种机械手设备，所述机械手设备经调适以在电子装置处理系统内移动基板。所述机械手设备包括吊杆连接装置、上臂连结外壳、前臂连结外壳、腕部构件及前臂驱动器构件，所述吊杆连接装置经经调适以绕第一旋转轴旋转，所述上臂连结外壳于偏移所述第一旋转轴的第一径向位置处耦合至所述吊杆连接装置，所述上臂连结外壳经调适以绕位于所述第一径向位置的第二旋转轴旋转，所述前臂连结外壳于与所述第二旋转轴隔开的第二位置耦合至所述上臂连结外壳，且所述前臂连结外壳经调适以相对于所述上臂绕位于所述第二位置的第三旋转轴旋转，所述腕部构件耦合至所述前臂连结外壳，且所述腕部构件经调适用于相对于所述前臂连结外壳绕第四旋转轴旋转，所述腕部构件经调适以耦合至终端受动器，其中所述终端受动器经调适以携带基板，所述前臂驱动器构件牢固地耦合至所述吊杆连接装置，且所述前臂驱动器构件具有前臂驱动元件，所述前臂驱动元件延伸穿过所述上臂连结外壳，所述前臂驱动元件耦合至所述前臂连结外壳的被动构件。

在另一方面中，提供一种在电子装置处理系统内运输基板的方法。所述方法包括提供机械手设备，所述机械手设备具有吊杆连接装置、上臂连结外壳、前臂连结外壳、腕部构件和前臂驱动器构件，所述上臂连结外壳耦合至所述吊杆连接装置，所述前臂连结外壳耦合至所述上臂连结外壳，所述腕部构件耦合至所述前臂连结外壳，所述腕部构件经调适以耦合至终端受动器，以及前臂驱动器构件牢固地耦合至所述吊杆连接装置，所述前臂驱动器构件具有前臂驱动元件，所述前臂驱动元件延伸穿过所述上臂连结外壳，所述前臂驱动元件耦合至所述前臂连结外壳的被动构件，旋转所述吊杆连接装置至一地点，所述地点邻近于取放地点，相对于所述吊杆连接装置独立地旋转所述上臂连结外壳，及相对于所述前臂连结外壳独立地旋转所述腕部构件。

按照本发明的这些与其它方面，提供了多种其它特征。从以下的具体描述、所附的权利要求书及附图，本发明的其它特征及方面将更完全显而易见。

附图简要说明