[发明专利]感光性树脂组合物、使用了该树脂组合物的图案固化膜的制造方法以及电子部件

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

(a)聚苯并噁唑前体、

(b)感光剂、

(c)溶剂、

(d)交联剂、和

(e)选自由下述通式(II)～(VIII)表示的化合物中的一种以上的化合物，

通式(II)～(VIII)中，X分别独立地为羟基、碳原子数为1～6的烷氧基或羧基；Y为单键或选自-O-、-SO₂-、其他2价的有机基团中的基团；R分别独立地为碳原子数为1～10的烷基；n为R基团的个数，在通式(III)以及(IV)中表示0～4的整数，在通式(V)、(VI)、(VII)以及(VIII)中表示0～3的整数。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(a)成分具有由下述通式(I)表示的结构单元，

通式(I)中，U为单键或-O-、-SO₂-、其他2价的有机基团，V表示2价的有机基团；至少V为包含碳原子数为1～30的脂肪族结构的基团、或U为包含构成主链的碳原子数为2～30的脂肪族结构的基团。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(a)成分为具有由下述通式(IX)表示的结构单元的聚苯并噁唑前体，

式(IX)中，U为单键或-O-、-SO₂-、其他2价的有机基团，R¹以及R²分别独立地为氢、氟或碳原子数为1～6的烷基，n为1～30的整数。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中，所述通式(IX)中的n为7～30的整数。

5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(a)成分的重均分子量为3000～200000。

6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(e)成分为由所述通式(III)～(VI)表示的化合物中的任意一种。

7.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(e)成分为由所述通式(III)表示的化合物。

8.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(e)成分的含量相对于(a)成分100质量份为0.1～10质量份。

9.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(d)成分为具有羟甲基或烷氧基烷基的化合物。

10.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(d)成分为由下述式表示的化合物中的至少一种，

11.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(d)成分的含量相对于所述(a)成分100质量份为1～50质量份。

12.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(b)成分为在光的作用下产生酸或自由基的化合物。

13.根据权利要求12所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物为正型感光性树脂组合物，所述(b)成分为邻醌二叠氮化合物。

14.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(c)成分为γ-丁内酯、乳酸乙酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺或N,N-二甲基乙酰胺。

15.一种图案固化膜的制造方法，其包括下述工序：

将权利要求1～14中任一项所述的感光性树脂组合物涂布在支撑基板上并干燥，形成感光性树脂膜的工序；

将通过所述涂布、干燥工序得到的感光性树脂膜曝光成规定的图案的工序；

使用碱水溶液使所述曝光后的感光性树脂膜显影的工序；以及

对所述显影后的感光性树脂膜进行加热处理的工序。

16.根据权利要求15所述的图案固化膜的制造方法，其中，在对所述显影后的感光性树脂膜进行加热处理的工序中，其加热处理温度为250℃以下。

17.根据权利要求15所述的图案固化膜的制造方法，其中，在对所述显影后的感光性树脂膜进行加热处理的工序中，其加热处理温度为200℃以下。