[发明专利]半导体晶片等加工用粘附带有效

专利信息
申请号: 201280015419.3 申请日: 2012-03-27
公开(公告)号: CN103443229A 公开(公告)日: 2013-12-11
发明(设计)人: 石破彰浩;矶部雅俊;长尾佳典 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: C09J7/02 分类号: C09J7/02;C09J4/00;C09J175/14;C09J201/08;H01L21/301
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 半导体 晶片 工用 粘附
【权利要求书】:

1.一种半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:

具备:基材层;和在所述基材层的至少一面上形成的粘附层,

所述粘附层含有:含羧基聚合物;放射线聚合化合物;和交联剂,

所述放射线聚合化合物的重均分子量为500以上20000以下,并且官能团数为5个官能团以上,

相对于含羧基聚合物100重量份,所述交联剂的含量为3重量份以上14重量份以下。

2.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:

所述放射线聚合化合物的重均分子量为1000以上20000以下,并且官能团数为10个官能团以上。

3.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:

所述含羧基聚合物还含有酯基,

所述含羧基聚合物的所述酯基的个数与所述羧基的个数的比(酯基/羧基)为80/20以上95/5以下。

4.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:

所述放射线聚合化合物的重均分子量为500以上3000以下,并且官能团数为15个官能团以下。

5.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:

所述官能团为乙烯基。

6.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:

相对于所述含羧基聚合物100重量份,所述放射线聚合化合物的含量为30重量份以上70重量份以下。

7.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:

所述放射线聚合化合物为聚氨酯丙烯酸酯。

8.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:

所述交联剂含有异氰酸酯基。

9.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:

所述含羧基聚合物为丙烯酸酯与丙烯酸的共聚物。

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