[发明专利]半导体晶片等加工用粘附带有效
| 申请号: | 201280015419.3 | 申请日: | 2012-03-27 |
| 公开(公告)号: | CN103443229A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
| 发明(设计)人: | 石破彰浩;矶部雅俊;长尾佳典 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
| 主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;C09J4/00;C09J175/14;C09J201/08;H01L21/301 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 晶片 工用 粘附 | ||
1.一种半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:
具备:基材层;和在所述基材层的至少一面上形成的粘附层,
所述粘附层含有:含羧基聚合物;放射线聚合化合物;和交联剂,
所述放射线聚合化合物的重均分子量为500以上20000以下,并且官能团数为5个官能团以上,
相对于含羧基聚合物100重量份,所述交联剂的含量为3重量份以上14重量份以下。
2.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:
所述放射线聚合化合物的重均分子量为1000以上20000以下,并且官能团数为10个官能团以上。
3.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:
所述含羧基聚合物还含有酯基,
所述含羧基聚合物的所述酯基的个数与所述羧基的个数的比(酯基/羧基)为80/20以上95/5以下。
4.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:
所述放射线聚合化合物的重均分子量为500以上3000以下,并且官能团数为15个官能团以下。
5.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:
所述官能团为乙烯基。
6.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:
相对于所述含羧基聚合物100重量份,所述放射线聚合化合物的含量为30重量份以上70重量份以下。
7.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:
所述放射线聚合化合物为聚氨酯丙烯酸酯。
8.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:
所述交联剂含有异氰酸酯基。
9.如权利要求1所述的半导体晶片等加工用粘附带,其特征在于:
所述含羧基聚合物为丙烯酸酯与丙烯酸的共聚物。
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