[实用新型]一种金属有机化学气相沉淀设备

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉淀设备，包括腔体、设置有喷淋头的腔盖、带动所述腔盖开合的位移机构，和驱动所述位移机构工作的电动机系统，所述电动机系统包括电动机和用于驱动电动机工作的电源，其特征在于，还包括连接于所述电动机与电源之间的电源控制模块，所述电源控制模块包括限流器，所述限流器用于限制输出到所述电动机的实际电流不高于一设定值。

2.根据权利要求1所述金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述电源控制模块还包括电压控制器，所述电压控制器用于调节输出到所述电动机的实际电压。

3.根据权利要求1所述金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述电动机是感应电动机。

4.根据权利要求1所述金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述设定值不高于所述电动机的额定电流。

5.根据权利要求1所述金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述位移机构包括丝杆，所述丝杆通过螺纹配合与所述腔盖连接；所述电动机系统用于驱动所述丝杆转动。

6.根据权利要求5所述金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述位移机构包括相互平行两丝杆，所述两丝杆同步转动以驱动所述腔盖开合。

7.一种电动机系统，包括电动机和驱动电动机工作的电源，其特征在于：还包括连接于所述电动机与电源之间的电源控制模块，所述电源控制模块包括限流器，所述限流器用于限制输出到所述电动机的实际电流不高于一设定值。

8.根据权利要求7所述电动机系统，其特征在于，所述电源控制模块还包括电压控制器，所述电压控制器用于调节输出到所述电动机的实际电压。

9.根据权利要求7所述电动机系统，其特征在于，所述电动机是感应电动机。

10.根据权利要求7所述电动机系统，其特征在于，所述设定值不高于所述电动机的额定电流。