[实用新型]有机金属微气泡输出装置

说明书

技术领域

本实用新型关于一种有机金属微气泡输出装置，特别是指一种能够于气体输入时，能够有机金属溶液转换为微小且均匀的微气泡，并能够抽出使用的有机金属微气泡输出装置。

背景技术

一般，于基板上成长半导体薄膜，其中一种方法是有机金属化学气相沉积法（MOCVD），MOCVD成长薄膜时，主要将载流气体通过有机金属反应源的容器时，将反应源的饱和蒸气带至反应腔中与其它反应气体混合，然后在被加热的基板上面发生化学反应促成薄膜的成长。一般而言，载流气体通常是氢气，但是也有些特殊情况下采用氮气。

而MOCVD系统的组件可大致分为反应腔、气体控制及混合系统、反应源及废气处理系统，其中该反应源可以分成两种，第一种是有机金属反应源，第二种是氢化物（Hydride）气体反应源。有机金属反应源储藏在一个具有两个联外管路的密封不锈钢罐（cylinder bubbler）内，在使用此金属反应源时，则是将这两个联外管路各与MOCVD机台的管路以VCR接头紧密接合，载流气体可以从其中一端流入，并从另外一端流出时将反应源的饱和蒸气带出，进而能够流至反应腔。氢化物气体则是储存在气密钢瓶内，经由压力调节器（Regulator）及流量控制器来控制流入反应腔体的气体流量。

由图1中可知，该密封不锈钢罐1中具有金属反应源11，因此将载流气体由一端的气体管路2输入时，将会使金属反应源11中产生气泡12，并由另一端的蒸气管路3将饱和蒸气抽出，而该密封不锈钢罐1内部的处理将非常重要，当气体转换为蒸气时，若是内部没有进行过滤处理，其产生的泡泡非常不均匀，而输出至反应腔时，将会导致所镀制的薄膜不均匀的现象发生。

因此，若能够使用一种有机金属微气泡输出装置，能够于载流气体进入有机金属溶液（有机金属反应源）时，进行过滤处理，以将有机金属溶液与载流气体混合形成的气泡转换为微小且均匀的微气泡，如此应为一最佳解决方案。

发明内容

本实用新型的目的在于，提供一种有机金属微气泡输出装置，其结构简单，操作方便，能于有机金属载具中，当气体进入有机金属溶液时，能够进行过滤处理，以将有机金属溶液与载流气体混合形成的气泡转换为微小且均匀的微气泡，由此实现泡泡的均匀，避免制造的缺陷，提高产品的优良率。

为实现上述目的，本实用新型公开了一种有机金属微气泡输出装置，其特征在于包含有：

一有机金属载具，其具有一容置有机金属溶液的溶液槽，且该有机金属载具于顶部设有贯穿至该溶液槽的气体输入口、溶液输入口及蒸气排出口；

一能将气泡过滤为微小且均匀的微气泡的过滤器，其设置于该溶液槽底部；以及

一气体输送管体，该气体输送管体一端具有一阀口及一气体输入端，而该气体输送管体的另一端穿过该有机金属载具的气体输入口，并与该过滤器相接触从而由该气体输入端所注入的气体通过该气体输送管体进入该溶液槽中并产生气泡且气泡则透过该过滤器过滤为微小且均匀的微气泡。

其中，更包含有一有机金属溶液输送管体，该有机金属溶液输送管体一端具有一溶液输入端，而另一端插入该溶液输入口以使由该溶液输入端注入的有机金属溶液流入该溶液槽中。

其中，更包含有一蒸气抽出管体，该蒸气抽出管体一端具有一阀口及一蒸气输出端，而该蒸气抽出管体的另一端插入该蒸气排出口从而该蒸气抽出管体抽出该溶液槽中包含微小且均匀的微气泡的蒸气后再由该蒸气输出端输出。

其中，该气体输送管体另一端与该过滤器表面相接触。

其中，该气体输送管体另一端穿入该过滤器中。

其中于，该气体输送管体另一端穿出该过滤器。

通过上述结构，本实用新型的有机金属微气泡输出装置，能够于气体进入有机金属溶液时，进行过滤处理，以将有机金属溶液与载流气体混合形成的气泡转换为微小且均匀的微气泡，因此当具有微小且均匀的微气泡的蒸气输出至反应腔时，将能够使镀制的薄膜均匀分布。

附图说明

图1：为习用有机金属微气泡输出装置的结构示意图；

图2：为本实用新型有机金属微气泡输出装置的结构示意图；

图3：为本实用新型有机金属微气泡输出装置的气泡产生实施例图；

图4:为本实用新型有机金属微气泡输出装置的气体输送管体另一结构示意图；以及

图5：为本实用新型有机金属微气泡输出装置的气体输送管体另一结构示意图。

具体实施方式

有关于本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。