[实用新型]有机金属微气泡输出装置有效
申请号: | 201220622078.3 | 申请日: | 2012-11-21 |
公开(公告)号: | CN202898533U | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 王瑞恭 | 申请(专利权)人: | 王瑞恭 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/455 |
代理公司: | 北京天平专利商标代理有限公司 11239 | 代理人: | 孙刚 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 金属 气泡 输出 装置 | ||
1.一种有机金属微气泡输出装置,其特征在于,包含有:
一有机金属载具,其具有一容置有机金属溶液的溶液槽,且该有机金属载具于顶部设有贯穿至该溶液槽的气体输入口、溶液输入口及蒸气排出口;
一能将气泡过滤为微小且均匀的微气泡的过滤器,其设置于该溶液槽底部;以及
一气体输送管体,该气体输送管体一端具有一阀口及一气体输入端,而该气体输送管体的另一端穿过该有机金属载具的气体输入口,并与该过滤器相接触从而由该气体输入端所注入的气体通过该气体输送管体进入该溶液槽中并产生气泡且气泡则透过该过滤器过滤为微小且均匀的微气泡。
2.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置,其特征在于,更包含有一有机金属溶液输送管体,该有机金属溶液输送管体一端具有一溶液输入端,而另一端插入该溶液输入口以使由该溶液输入端注入的有机金属溶液流入该溶液槽中。
3.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置,其特征在于,更包含有一蒸气抽出管体,该蒸气抽出管体一端具有一阀口及一蒸气输出端,而该蒸气抽出管体的另一端插入该蒸气排出口从而该蒸气抽出管体抽出该溶液槽中包含微小且均匀的微气泡的蒸气后再由该蒸气输出端输出。
4.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置,其特征在于,该气体输送管体另一端与该过滤器表面相接触。
5.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置,其特征在于,该气体输送管体另一端穿入该过滤器中。
6.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置,其特征在于,该气体输送管体另一端穿出该过滤器。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的